基于光流技术的MEMS平面微运动特性的测量-测试计量技术及仪器专业论文.docxVIP

摘 摘 要 随着微机电系统(MEMs)从研究阶段逐渐步入产业化阶段，对测试技术的 需求越来越迫切，特别是MEMS动态测试技术，因其能够测量MEMS三维运动， 分析MEMS动态特性、材料特性以及机械力学参数等关键数据，已成为MEMS 测试技术的重要组成部分。而研究如何在MEMS运动过程中i己录瞬间运动状态， 并恢复MEMS面内的运动历程，则是MEMS动态测试技术实现平面微运动测量 的关键。 论文基于光流技术，对MEMS动态特性中的平面微运动特性的测量开展了 研究，主要工作包括以下几个方面： 1．系统建调研和分析了微机电系统、微机电系统测试技术及微机电系统平 面动态特性测试技术的研究现状、应用领域和发展趋势，说明了MEMS动态测 试技术的重要性和对其开展研究的必要性； 2．引进了光流技术，比较了光流场与二维运动矢量场之间的联系和区别， 并通过讨论光流场估值中存在的问题，提出了几种典型的光流场估计算法； 3．基于MEMS平面运动测试系统，采集到高速运动的MEMS器件不同相 位对应的清晰图像序列，利用光流技术对特定驱动频率下采集到的图像序列进行 分析。提出基于邻域优化算法和置信点光流约束算法分别分析MEMS器件的平 面运动历程，并在置信点光流约束法的基础上，又分别提出r置信点约束的全局 方法和置信点约束的最小二乘法，充分利用它们各自的优点，可以得到既毁密又 鲁棒的光流场，实现MEMS平面内的平动测量，从而提取器件的运动特性参数； 4．用已提出的算法，进行了模拟实验和应用在实际MEMS器件中的实验。 分别基于邻域优化法和置信点光流约束法对MEMS微谐振器的运动历程做分 析，得到了它在特定驱动频率下的运动幅度相位图及其拟合曲线，实现了MEMS 平面特性的精确测量。 关键词=微机电系统，平面动态特性测试，光流，图像处理，频闪 ABSTRACTThe ABSTRACT The demands of testing technique for Micro-Electro Mechanical System(MEMS) become mole and more urgent when MEMS is gradually stepping into industrialization from the moment of research and development．Especially,MEMS dynamic testing technique has tumed into an important part of MEMS testing technique bec枷璐e it is able to measure three-dimensional motion of MEMS and analyze vitaI data,sLleh∞dynamic dmractetistics．material characteristics and meetmnical parameters．Moreover,the research on how to lecord motion moment of MEMS and recover MEMS in-plane motion conrse is the key to realize in-plene micro-mofion measurement for MEMS dynamic testing technique． This dissermtion researches on in-plane micto-motion measulealent for MEMS based on optical flow technique．The major works in paper are following： 1．Application fields，current states and development trends of MEMS，testing technique of MEMS and in-plane dy删c testing technique of MEMS were fully investigated and analyzed．And it was explained that the importance of dynamic testing technique ofMEMS and the necessity ofresearch on it； 2．Optical flow technique was introduced，and the relations and differences b哉ween optical flow fields and motion f