半导体厂废水来源与处理介绍.pptVIP

Newlvit 04/08/2012 1 Wastewater Treatment System of CISEMI CISEMI废水处理系统1期简介 Newlvit 04/08/2012 2 Content Waste Water System Waste Codes in China Wastewater Effluent Standard Waste Classification Waste Definition Wastewater System Flow Waste Chemical Collection Chemical Dosing System Waste Tank Material List Waste Photoresist Lifting station Layout Waste Water Lifting Station Wastewater Treatment Layout Newlvit 04/08/2012 3 Waste Codes in China 中华人民共和国水污染防治法 (水) 中华人民共和国国家标准 地面水环境质量标准 中华人民共和国国家标准 地下水环境质量标准 污水综合排放标准GB 8978-2002之第三级标准 其中氨氮实行二级标准 污水处理设施环境保护监督管理办法 污水排入城市下水道水质标准 Newlvit 04/08/2012 4 Waste Codes in China 国家危险废物名录 HW06有机溶剂废物：废催化剂； 清洗剥离物、反应残渣 及滤 物与载体废物 感光材料废物：废显影液定影液、正负胶片、相纸及药品 表面处理废物：废电镀溶液、镀槽淤渣、电镀水处理污泥 、处理酸碱渣、氧化槽渣、磷化渣 HW22含铜废物 HW24含砷废物 HW31含铅废物 HW32无机氟化物废物：氢氟酸…不包括氟化钙 HW34废酸：废硫酸、硝酸、 磷酸… HW35废碱：NaOH、KOH… HW42废有机计溶剂：异丙醇、丙酮、环戊酮、二甲苯… Newlvit 04/08/2012 5 Wastewater Effluent Standard 项目 单位 验收标准 三级标准 备注 pH 69 6-9 COD ppm ＜350 ＜500 SS ppm ＜250 ＜400 F- ppm ＜15 ＜20 NH4-N ppm ＜25 按二级标准＜25 其他水质项目亦须符合GB 8978-2002 污水综合排放标准之第三级标准。 Newlvit 04/08/2012 6 Waste Classification WastewaterFrom Fab Dr-REC Dr-DHF General Acid/CausticWastewater Dr-GW Dr-HPM Dr-APM FluorideWastewater Dr-MHF Dr-HHF Dr-CMP-M Dr-CMP-O AcidWastewater Dr-H2SO4 Dr-H3PO4 SolventWastewater Dr-Sol. Dr-IPA Photo ResistWastewater Dr-PR-P Dr-FL Dr-ES Dr-H2SO4+HF Dr-CMP-I Dr-L/S Dr-PR-N ReclaimWastewater CMPWastewater Dr-CMP-P Newlvit 04/08/2012 7 Waste Classification DI Water Plant Dr-CAREG Dr-MGREG HVAC ChemicalRoom Dr-C/S Dr-CTBW Dr-GW Dr-MHF Dr-H2SO4 Dr-Sol. Dr-HPM Dr-H3PO4 To FWW To GWW To GWW To GWW WastewaterFrom Facility Newlvit 04/08/2012 8 Drainage Classification For Chemical Room Group Name Room Name Equipment Water Drain Remark DI/CW DR G/C HCl room HCl CDS DI DR-HPM 　 　 Acid room-1 1%HF CDS DI DR-MHF 　 49%HF CDS Poly(I) CDS Poly(II) CDS H3PO4 CDS DR-H3PO4 HNO3 CDS DR-GW/MHF 　 Acid room-2 BHF7