X公司无尘室内环境检测方法及判定作业标准化文件.docVIP

目的 规范无尘室内环境检测方法及判定作业。 范围 适用于公司所有无尘室的环境检测作业。 3.职责 3.1 无尘室管事部: 负责无尘室的定期检测及检测数据的统计分析,无尘室检测异常的提出。 3.2 生产部: 负责对无尘室的日常维护及保养。 3.3 机电部:负责无尘室高效及低效过滤网的更换及维修。 3.4设备部：负责无尘室的定期保养,新过滤网的请购。 4.内容 4.1 无尘室落尘检测： 4.1.1 静态检测: 生产设备安装完毕,且正常运行但无人员工作状态下检测。 4.1.2 动态检测: 生产设备安装完毕正常运行,且工作人员正常工作状态下检测。 4.2检测周期: 无尘室2次/周。作业面区域2次/周，FFU过滤网检测1次/年度，生产依据检测排查结果，开出工程需求申请单，请购滤网进行更换。 注：CCM及三星专线无尘车间为每日点检。 4.3无尘车间人数规定，按每3m2最多只能容纳1人计算；比如：100m2的车间，最多只能容纳33人, 每天进入无尘车间人员需做清点及统计，并记录于《无尘室人数点检表》中，超出空间限制人 员数量时应由无尘室管理禁止及进入。(参考国标GB 50073-2001) 。 4.4 检测方式: 4.4.1 检测时使用采样量大于1L/min的光学粒子计数器。 4.4.2测量时位于工作区的高度(距离地面高度约0.8m)处进行检测。 4.4.3测量时间最少为1min。 4.5 检测异常处理： 灰尘度检测人员对检测结果进行判定，如检测结果超出标准，无尘室管理部开出《无尘室检测异常联络单》，要求产线和相关部门进行改善，改善后再进行生产。 4.6 检测方法要求： 4.6.1参考： ISO 14644-1/2 NEBB Procedural Standard for Certified Testing of Cleanroom 4.6.2洁净室的测试点以不少于总面积开平方根的数量来均匀划分。 （例如：1000平米车间至少需32个检测点） 4.6.3取样量为每分钟1个立方英尺,取样时间为一分钟。 4.6.4在每个点的中心最小取一分钟，高度在0.8米左右. （靠近人员实际作业区域） 4.6.5当有障碍物时采样点放在障碍物12 英寸上面 4.7 检测等级判定： 4.7.1本司检测设备检测量为2.83L/min(即0.1ft/min)。 4.7.2 依据FS-209E/GB50073-2001标准进行检测判定,即1ft的空间里面含有≥0.5um 落尘的数量即为多少等级,也可依1m3空间来计算,换算公式为1 m3=1000L。 例: 现设备检测1min, ≥0.5um的落尘显示数值为87。即为: 在0.1ft空间内有87个≥0.5um的落尘=1ft空间内有870个≥0.5um的落尘。依标准判定无尘室等级为870级。 4.7.3 FS-209E标准的空气中悬浮粒子洁净度等级(ft m3比对表) 等级标准 等级限制 0.1um 0.2um 0.3um 0.5um 5um 容积单位 容积单位 容积单位 容积单位 容积单位 m3 Ft3 m3 Ft3 m3 Ft3 m3 Ft3 m3 Ft3 —— 10 —— 2 —— —— —— —— —— —— —— —— 100 —— 24 —— 10 —— 4 —— —— —— 1 1000 35 237 7.5 102 3 35 1 —— —— 10 10000 350 2370 75 1020 30 352 ≦10 —— —— 100 100000 —— 23700 750 10200 300 3520 100 29 —— 1000 1000000 —— 237000 —— 102000 —— 35200 996 293 7 10000 —— —— —— —— —— —— 352000 9962 2930 70 100000 —— —— —— —— —— —— 3520000 99616 29300 700 —— —— —— —— —— —— ———— 293000 —— 4.8 FFU滤网检测：参考： ISO 14644-3： 注1：洁净室及相关受控环境----第3部分：计量和测试方法。 4.8.1检测频率： 4.8.2更换周期为1次/1年(依据检测结果而定)。 4.8.3 测试方法 4.8.3.1对于每个2`X4`过滤器, 距离其表面150MM处均匀取2个读数 4.8.3.2对于每个4`X4`过滤器, 距离其表面150MM处均匀取4个读数 4.8.3.3平均风速：0.45 m/s ± 20% 4.9 无尘室压力管控 4.9.1《洁净厂房设计规范》GB50073-2001 6.2.2 规定不同等级的