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独创性声明
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日期: 年 月 日 日期: 年 月 日
华
华 中 科 技 大 学 硕 士 学 位 论 文
I
I
摘 要
室内各种污染空气严重危害人们的健康,因此很有必要对它们进行实时监控, 而金属氧化物半导体传感器因为价格便宜和使用方便可靠等优势成为首选。其中光 激发气敏传感器又具有能在室温下工作、便于集成、适合检测各种可燃易爆气体等 优点,因此我们对它进行了研究:
(1)基于组合材料学的思想:并行合成,高通量表征,我们设计了气相光电性 能高通量测试的芯片及装置以筛选和研究光激发气敏材料,该装置可以实现材料在 不同偏压、不同气氛和不同光强下的测试,它最大的特点是可以同时测试 16 个不同 的材料,而且装夹方便,制样简单,大大提高了试样的制备和测试效率,试样的管 理和标记也比以前更方便了。
(2)研究比较了 TiO2 和 ZnO 的光电流和气敏响应的差异以指导材料筛选。其 中 TiO2 对乙醇和甲醛的气敏响应值远远大于 ZnO 的,并且 TiO2 对 100 ppm 的乙醇 和 100 ppm 的甲醛的响应值分别达到了 224 和 1700,这也显示了 TiO2 是一种很有前 景的光激发气敏传感材料。分析表明,TiO2 和 ZnO 之间的差异主要是由于紫外光照 下材料表面吸附的 O2-的量不同而导致的,这一点可以由他们之间光电流响应的差别 和相关文献中报道的真空条件下这两种材料的光电流增大值的差异推测出。通过比 较 TiO2 和 ZnO 之间的差异,我们得出了一个筛选光激发气敏传感器的原则:在空气 条件下,具有低的光电流响应的材料更可能具有高的光激发气敏响应值。
(3)研究了 TiO2 的真空退火以及表面修饰 Pt 对气敏性能的影响,其中真空退 火后的 TiO2 与未经处理的 TiO2 相比对甲醛气氛的敏感度增大了五十倍左右。而材料 表面负载 Pt 对敏感度的影响不大。为此我们进行了分析讨论,希望对日后材料性能 的提高做出指导。
关键词:气敏性能,光激发,TiO2,ZnO,真空退火,修饰 Pt
II
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Abstract
Indoor air pollution is a serious threat to peoples health, so real-time monitoring of them is necessary, and the metal oxide semiconductor gas sensor is preferred because of its low price, ease of use and high reliability. Amony them, photoactivated gas sensor has the advantages of working at room temperature and ease of integration, so it can be used for the detection of combustible or explosive gases, etc. Hence, we have studied it:
Based on the idea of combinational material science: a large number of synthetic, high-throughput characterization, we designed a high-throughput screening device for the test of photocurrent properties under gas phase, the device can be used to test under different conditions: different bias, di
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