三坐标测量机动态误差建模与测量不确定度评定分析-检测技术与自动化装置专业论文.docxVIP

III III 英文摘要 which affect the measuring accuracy. Keywords: Coordinate Measuring Machines；dynamic errors；touch trigger probe； aerostatic slider；uncertainty；Monte Carlo method 目 目 录 目 录 第一章 绪论 ????????????????????? （1） 1.1 三坐标测量机及其发展现状?????????????? （1） 1.2 三坐标测量机静态误差研究概述???????????? （2） 1.2.1 三坐标测量机主要静态误差源??????????? （2） 1.2.2 三坐标测量机静态误差补偿技术概述 ???????? （3） 1.3 三坐标测量机动态误差研究及应用现状 ????????? （4） 1.3.1 坐标测量机的动态特性研究 ???????????? （4） 1.3.2 坐标测量机关键部件动态性能的研究及优化设计 ???? （6） 1.3.3 坐标测量机动态误差修正方法的研究????????? （7） 1.4 三坐标测量机检定（检验）标准制定及进展????????? （8） 1.5 课题来源及主要研究内容 ?????????????? （9） 第二章 G-90C 坐标测量机简介及其误差源分析 ?????? （10） 2.1 G-90C 简介 ???????????????????? （10） 2.1.1 机体结构 ?????????????????? （10） 2.1.2 测头系统 ?????????????????? （11） 2.1.3 测量系统 ?????????????????? （11） 2.1.4 驱动和控制系统 ??????????????? （12） 2.1.5 测量软件 ?????????????????? （12） 2.2 动态误差源分析?????????????????? （13） 2.2.1 动态误差起因 ???????????????? （13） 2.2.2 主要动态误差源分析?????????????? （14） 2.3 动态误差源的相互关系 ??????????????? （17） 2.4 本章小节????????????????????? （18） 第三章 机体动态误差分析与建模 ???????????? （19） PAGE PAGE VII 目 录 3.1 测头处动态位移误差建模??????????????? （19） 3.2 气浮导轨特性分析 ????????????????? （24） 3.2.1 静压气体润滑的基本原理 ????????????? （24） 3.2.2 气浮导轨轴承性能分析 ?????????????? （26） 3.2.3 气源维护 ???????????????????（29） 3.3 本章小节????????????????????? （30） 第四章 触发式测头动态误差分析与建模 ????????? （31） 4.1 触发测头动态误差建模???????????????? （31） 4.1.1 触发测头预行程????????????????? （31） 4.1.1.1 开关位移 ????????????????? （32） 4.1.1.2 测杆弹性弯曲 ??????????????? （33） 4.1.1.3 接触变形 ????????????????? （34） 4.1.1.4 测头摩擦滑动????????????????（34） 4.1.1.5 预行程函数 ???????????????? （36） 4.1.2 采样信号迟滞 ????????????????? （37） 4.2 触测过程的动力学分析????????????????（38） 4.2.1 触测过程的碰撞 ????????????????（38） 4.2.2 测头的自由振动分析??????????????? （39） 4.3 测头探针校准与测端半径补偿????????????? （40） 4.3.1 探针校准 ???????????????????（40） 4.3.1.1 测端等效直径????????????????（40） 4.3.1.2 探针校准原理????????????????（41） 4.3.2 测端半径补偿探讨????????????????（42） 4.4 本章小节 ???????????????????? （42） 第五章 坐标测量机测量不确定度评定 ?????????? （42） 目 目 录 插图清单 插图