三坐标测量机动态误差补偿的研究-测试计量技术仪器专业论文.docxVIP

摘要(三坐标测量机在机械工业、汽车工业、航空航天与国防工业中具有十分广 摘要 (三坐标测量机在机械工业、汽车工业、航空航天与国防工业中具有十分广 泛的应用。高速测量是三坐标测量机的发展趋势。为了在提高测量速度的同时 保证较高的精度，就要研究三坐标测量机的动态误差问题≯一。J。 本文首先对三坐标测量机动态误差作了系统的分析。详细阐述了三坐标测 量机动态误差的来源、构成及大小等。 r三坐标测量机普遍使用气浮导轨。气浮轴承是气浮导轨系统的关键部件，少 本文对气浮轴承的特性进行了分析并提出了基于有限元法的数值计算方法。分 别对几种气浮轴承的特性进行了计算。在此基础上，提出了优化轴承特性的方 法。在此基础上，对气浮导轨系统的特性进行了理论分析，讨论了轴承特性和 动态误差之间的关系。f从实验上验证了理论分析的结果。提出了改进气浮导轨 设计的方法0、。●’ 除了气浮导轨系统外，三坐标测量机本身的结构也会带来动态误差。本文 对移动桥式结构的变形进行了分析，指出了主要的弱刚度部件。提出了改进测 量机机构设计的方法。 (，触发测量中三娶标测量机的运动变化是比较复杂的≥本文对使用触发测头 的触发测量过程进行了分析并对动态误差进行了实际测量。，从测量结果分析得 出测量机运行中各参数对测量动态误差的影响。在此基础上：、用BP神经网络 对触发测量的动态误差进行了建模。用所建立的模型对动态误差进行了预测。 对软件补偿的方法进行了探讨，为三坐标测量机的动态误差补偿提供可行方 法。’、、．。 本文的主要创造性工作为： ， 0对z!)02三坐标测量机动态误差进行了总体瓮析。(指出在加速、减速过程 中，惯性力作用在移动桥架上；由于机体和气浮导轨系统的有限刚度将使 移动桥架产生相对于气浮轴承联结处的偏转和移动桥架本身部件的弯曲和 扭转。研究了这些偏转、弯曲、扭转对测量的影响。指出这些误差和测量 机组成部件的自激振动、受迫振动等将对测量结果产生影响，引起动态误 左。，k一7 2)’在对三坐标测量机的气体润滑系统的特点和基本原理进行分析的基础上， 结合生产厂家的实际设计和制造情况，对气浮轴承的特性进行了分析并提 出了基于有限元法的数值计算方法。佣这种方法，分别对Z002三屯标测 量机几种气浮轴承的特性进行了计算和简单的优化。实验表明，轴承的优 化收到了明显的效果。在此基础上提出了改进气浮导轨设计的方法一～ j3．对测量机各部位的偏转角误差进行了测量，并用有限元法对三坐标测量机 移动桥架的变形进行了计算。r在此基础上鉴别出了三坐标测量机的主要弱 刚度部件。综合理论和实验的结果，得到由单侧驱动的移动桥式结构决定 了机体本身的动态弯曲和扭转是相当大的；与由气浮导轨的弱刚度造成的 动态误差相比，其影响往往要大几倍。提出了改进测量机机构设计的方法乡、霹 动态误差相比，其影响往往要大几倍。提出了改进测量机机构设计的方法乡、 霹 对使用触发测头的触发测量过程进行了分析并对动态误差进行了实际测 量。7从测量结果分析得出测量机运行中各参数对测量动态误差的影响。f，在 此基础上，用BP神经网络对触发测量的动态误差进行了建模。用所建立 的模型对动态误差进行了预测。结果表明BP神经网络在三坐标测量机动 态误差建模中收到了良好的效果。、。． 关键词：三坐标测量机动态误差气浮轴承气浮导轨有限元法触 发测量t覆向传播)神经网络误差补偿 AbstractCoordinate Abstract Coordinate measuring machines(CMMs)are widely used in mechanical industry, auto industry,aerospace industry and defense industry．Fast probing iS the development trend ofCMMs．The dynamic errors ofC00rdinate measuring machines should be studied to reach high accuracy while increasing measuring speeds． Firstly an overall analysis of the dynamic errors of coordinate measuring machines iS given and the sources．constitutions and values of the dynamic errors are presented． Air bearing guideways are widely used in CM／VIs Air bearing iS the key