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利用LIGA技术研制超微步进电机 中国泵业网 设计分析利用技术研制超微步进电机伊福廷，彭良强， 张菊芳，韩勇（中国科学院高能物理研究所，北京100039）计、加 工方法以及该电机的扫描电镜照片等。该电机的转子和定子由LIGA 技术制造完成，线圈由手工在显微镜下绕制完成，转子直径2mm, 整个电机直径5mm. 技术1简介超微电机是微机械系统中重要的执行元件之一，可 实现转动和平行运动。微电机有静电式、电磁式等多种结构形式，国 内有清华大学、上海交通大学进行了微电机的制造，并已取得了很好 的研究结果。 微加工技术有很多加工手段，有硅技术、LIGA技术、SU8技术、 电火花加工、电解加工、激光加工、传统的车铳等多种方法。清华大 学和上海交通大学就是主要利用硅加工技术完成了微电机的制造。 LIGA技术是80年代末发展起来的微加工技（电铸）, Abformung （塑铸）三个字的字头缩写，包括光刻、电铸和塑铸三个 主要工艺环节，其结构深度可以达到毫米或厘米。LIGAI艺中首先 是同步辐射光刻，光刻胶经过曝光显影后得到一光刻胶的胶模，也是 深度微结构最为原始的结构然后利用电铸工艺，将这一胶模转换成塑 铸所用的金属模具最后利用金属模具进行大批量生产塑料结构产品， 或大批量复制再电铸所需要的非金属模，再利用电铸工艺将复制出的 塑料模大批量转换成金属结构产品。LIGA技术是微加工技术的重要手段，也是微机械系统制造较为适合的加工方法，在微机械等领域 有着良好的应用前景，已经制造出光纤连接器、热交换器、齿轮、微 泵、电机等许多的微机械器件，有些器件已经投入使用。 LIGA技术是利用光刻技术进行微机械结构和零件的加工，而光刻 技术又是电子器件生产的一种方法，因此在方法上就实现了微电子与 微机械的结合，为微系统技术发展提供了…种强有力的实现方法。 该技术是利用同步辐射X光光刻技术制造原始胶结构，由于同 步辐射光刻的优越性能，使LIGA技术具有其它技术所无法相比的优 越性能，其优点：（1）任意横向尺寸的结构（2）最小尺寸可达0?2Lm （3）高宽比最大可达500 （ 4）结构表面粗糙度在亚微米范围，达 30nm （ 5）广泛的材料选择，可以是PM MA等有机材料，也可以是 Ni等金属或金属合金材料（6）注塑技术可以进行大批量，低成本 生产。 BSRF自1993年起开始从事LIGA技术的研究工作，取得了许多 研究成果，基本上完成了除塑铸外的整个工艺过程。在进行基础工艺 研究的同时，进行了应用技术的研究：悬空金属微条探测器、微加速 度计、微银子、正电子慢化器及微电机等，其中超微步进电机就是一 重要应用研究方向，并已取得了很好的研究成果。 超微步进电机是微机械系统中重要的执行元件，微机械系统中 的转动和移动动作都可以用超微步进电机来完成。超微步进电机是较 为复杂的微机械器件，包括转子、定子、轴、轴承、线、磁棒、驱 为复杂的微机械器件，包括转子、定子、轴、轴承、线 、磁棒、驱 动电源等。我们在吸收和消化国内外先进技术的基础上，提出了一种 新的微电机设计思想，使该电机具有很好的结构性能。通过利用上牺 牲层技术（已申请了国家发明专利），将分散的电机定子很好地结 合起来，从而可以作为一个完整的部件进行装配2设计原理超微步进 电机在运行原理上与传统的步进 电机没有本质的区别，考虑到微 型电机的一些制造特点，电机的转子采用了软磁材料，以便满足制造 工艺的需要。图1为步进电机的原理图。电机采用四极，转子为50 个齿，每个定子为5个齿，四对定子电极角度分布相差1/4齿间距。 在一对定子与转子磁力吸合时，其相邻的定子对的齿将与转子齿保持 1/4齿的角间距，这样在下一步改变定子的磁力时，转子齿将与下一 个定子齿磁力吸合，从而旋转1/4齿距的角度。通过不断改变四对定 了齿的磁力，转子就会每次以1/4齿距的角度转动，实现步进的效果 四对定子的磁力是靠四个缠绕线圈的磁棒分别提供的，线圈由一脉冲 电源提供电力供应，这样通过改变电源的脉冲频率，就可以控制电机 转子的步进频率，从而控制电机的转速。 电机的力矩是通过电磁学理论计算出来。图2为电机转子和定子的 一对齿的所受磁力作用情况。 从安培的电磁场环流定律和能量守恒，我们可以得到转子齿所受 的力和力矩：式中：S）空气间隙的表面积，）空气间隙的距离，）材 料的相对磁导率，R ）转子半径，L ）磁铁回路距离。 3工艺过程利用LIGA技术来制造这一电机，工艺过程如图3所 示。首先是LIGA技术的常规工艺流程，包括在钛片上涂PMMA光 刻胶，同步辐射光刻，电铸镰然后是制造转子所需要的牺牲层，包括 涂AZ1350光刻胶，套刻，显影，蒸镀金属铜膜，将金属铜膜用电镀 的方法加厚到0. 5mm,并利用机械方法在加厚的铜体上钻孔，以使 导磁棒从中穿过最后