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1 真空技术基础 1.1 真空的基本知识 1.1.2 真空区域的划分 真空区域:指不同的真空度范围; ? 划分目的:为了研究真空和实际应用的便利; ? 划分依据:按照各个压强范围内气体运动特征的不同进行划分; ? 划分准则:理论上,可依据Knudsen数的不同进行划分。 相关物理: 1)Knudsen数 定义: 物理意义:是描述稀薄气体流动状态的准数! ? 分子平均自由程大于流场特征尺寸时的气流称为Knudsen流,其 Kn 一般 10! 2)真空系统中气体运动特征的理论划分: 粘滞流(层流、Poiseuille流) 粘滞-分子流 分子流(自由分子流、Knudsen流) Kn 0.01 0.01 Kn = 0.01~1 1 Kn 1 — 气体分子的平均自由程 — 流场特征尺寸(如:管径) 1 真空技术基础 1.1 真空的基本知识 1.1.2 真空区域的划分 3)理想气体状态方程: , 式中:n — 分子密度 (个/m3); k — 玻尔兹曼常数,1.38×10-23 J/K; P — 气体压强 (Pa); T — 气体温度 (K); V — 气体体积 (m3); m — 气体质量 (kg); M — 气体分子量 (kg/mol); R — 普适气体常数,R = NA·k = 8.314 J/mol·K; NA — Avogadro常数,6.02×1023 个/mol; 4)气体分子的自由程(?):每个气体分子在与其它气体分子连续2次碰撞之间运动经历的路程。 平均自由程( ):气体分子自由程的统计平均值。 式中:? — 分子直径(m); ? Avogadro定律: 一定温度、压力下,各种气体单位体积内含有的分子数相同。 表明: 1) 与P成反比,而与 T 成正比; 2)在气体种类和温度一定的情况下: 1 真空技术基础 1.1 真空的基本知识 1.1.2 真空区域的划分 5)真空区域的工程划分:空气在室温下满足 记忆方法:“52-168(159)” P (Pa) 105 102 10-1 10-3 10-6 10-9 (m) 6.667×10-8 6.667×10-5 6.667×10-2 6.667 6.667×103 6.667×106 尺度 数十nm 不到1 ?m cm量级 若干米 数 km 几千km Kn 0.01 ≥0.01 ≥1 1 气体分子流动特征 粘滞流 过渡段 分子流 气体分子运动特点 大气状态 热运动剧烈 碰撞频繁 粘滞流?分子流 分子-分子与分子-器壁碰撞几率相当 器壁碰撞为主 粒子直线飞行 分子数更少 分子间无碰撞 器壁碰撞几率也低 真空区域工程划分 粗真空 低真空 高真空 超高真空 极高 真空 1 真空技术基础 1.1 真空的基本知识 1.1.3 气体的吸附及脱附 ? 真空下,气体在固体表面的吸附和脱附现象总是存在的! 一、基本概念 气体吸附:固体表面捕获气体分子的现象
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