无尘室（洁净室）培训.PPT

Company Name Dept. Name * Thank You ! Company Name Dept. Name * 洁净室培训材料 1：洁净室的基础知识 洁净室(Clean?Room),也称为无尘室。? 　 洁净室是指能将一定空间范围内之空气中的悬浮微粒、细菌等污染物排除，并将室内之温湿度、洁净度、压力、气流速度及静电等影响生产之环境因素控制在某一设计需求范围内，而给予特别设计的房间。亦即不论外面空气条件如何变化，其室内均能具有维持所设定的洁净度、温湿度及压力等生产所需环境因素性能的特性。 洁净度的等级 百级：一个立方空气中≥ 0.5um的悬浮颗粒物≤ 3520个  千级：一个立方空气中≥ 0.5um的悬浮颗粒物≤ 35200个 （百级、千级、万级）洁净室主要区别： 1：气流组织形式单向垂直流与乱流 2：不同等级洁净室换气次数 3：不同等级洁净室之过滤器过滤的效率 百级风速：0.45正负20%m/s 千级的换气次数：50-60（h） 万级的换气次数：15-25（h） 十万级的换气次数： 10-15（h） 亚高效过滤 99.9%@0.5um 高效过滤 超高效过滤 999.99%@0.12um 99.99%@0.3um FFU 百级无尘室 百级白区及灰区 千级或万级 洁净室正压 百级P3=20Pa 千级 P2=15Pa + + + P1=+10Pa P 万级 外界 半导体厂温湿度常规标准 温度 22±1度 湿度（55±5）% 为什么要保证洁净室的温度和湿度：在洁净室内很多设备及生产或反应过必须在一个标准范围内；如果温度过高，则会使室内工作人员产生过多的汗液，汗液挥发成微小粒子进入空气中，从而增加了洁净室内空气中含尘粒数，进而使其洁净度级别的所下降，无法保证工艺条件的要求。洁净室内相对湿度的过低：第一容易产生静电，第二由于室内空气的过分干燥而使室内设备、以及洁净室的结构表面的覆盖层更容易脱落，变成粒子状进入洁净室的空气中，增加空气的含尘量。 洁净室的相对湿度过高，则会使室内空气中的一些微细粒子在运动中发生碰撞而粘着，凝聚成稍大一些的尘埃粒子，从而使室内计数尘埃粒子数增加而破坏原有的洁净度级别。 一般常见的送回风形式 百级一般采用： MAU+干盘管+FFU 送风为上送下回 千级一般采用： MAU+干盘管+FFU 或者MAU+AHU ， 送风为上送侧回 万级一般采用： MAU+AHU 送风为上送侧回 FFU AHU 半导体洁净室的维护结构及地坪： 顶板及围板采用50mm双面玻镁岩棉夹心彩钢板 。 百级黄光一般采用高架地板，化学清洗采用耐腐蚀环氧地坪，其余区域采用防静电自流平环氧。 防静电自流平环氧： 洁净室的验收 1：空态：洁净室工程完工而生产设备尚未搬入车间 且无任何作业员在车间内状态 2：静态：生产设备已搬入，且设备已经送电运转， 但室内无作业人员之状态 3：动态：设备已经运转，作业人员在现场，车间处 于生产状态 选用何种验收状态需要在合同里注明 益光光电洁净室验收要求 1：温湿度