913微机电系统应用.pdfVIP

第2章惯性传感器 Paul L. Bergstrom Melissa L. Trombley 密歇根科技大学 Gary G. Li 飞思卡尔半导体公司 2.1简介 惯性传感器是指将惯性力转换成可测信号（一般是具有一定灵敏度的线性输出电压） 的转换器。目前，适用于宏观惯性传感器的原理和方法在微机械传感器中得到了广泛的应 用，那么，是什么因素导致一定要引入微机械惯性传感器呢？首先，对不同的直线和旋转运 动传感器的应用需求需要有相应的微加工技术、设计和系统架构；其次，尽管各种敏感机理 和微加工技术在传统的惯性传感器中也得到了大量的应用，但是从系统的角度来说对微型传 感器的需求更加迫切。本章将从如下几个方面讲述微惯性传感器：微惯性器件的经典应用； 直线运动惯性传感器即加速度计的参数设计，检测惯性位移的主要物理机制；角速率传感器 即陀螺的旋转运动惯性速率传感器的特有参数设计；几种常用的微加工工艺及其对微型传感 器设计的影响。 2.2惯性传感器的应用 在微型传感器的应用中通常需要考虑封装体积或尺寸、系统成本和性能等三个主要 方面，一般来说一种技术不可能同时满足三个方面的要求。相对宏观情况而言，微惯性 传感器的封装体积或系统总尺寸是较容易实现的，这是因为微加工技术能够将敏感元件 和电路元件集成为单个芯片或将两个芯片封装在很小的塑料或陶瓷管壳中，图2-1所示 是两个实例。 微惯性传感器的系统成本也是一个重要方面。由于采用与微电子工艺兼容的工艺，微惯 性传感器能够大批量加工从而显著地降低了工艺的限制。尽管微加工的许多单步工艺比相应 的宏观器件工艺贵得多，但综合考虑到微传感器小尺寸的巨大优势，单步工艺对成本的影响 就明显下降了。 在保证产品性能的前提下实现利润最大化就需要降低单位生产成本，这表现在微系统中 就是有效利用芯片面积，即在最小的芯片面积上加工灵敏度最高的器件。目前，乘客安全系 统中的微加速度计都采用早期的表面微机械加工技术，即在硅片表面先后淀积牺牲层和结构 层从而形成锚点，通过释放牺牲层得到悬浮结构，结构材料一般是厚度不超过3pm的多晶 6 微机电系统应用 b) 图2-1两个大量生产的加速度计产品实例 a)美国模拟器件公司ADXI250两轴横向单片集成加速度计产品顶视图 b)飞思卡尔半导体公司圆片级封装加速度计和控制芯片在塑胶灌注成型前同定于引线框架上的透视图 硅（Risdc等，1992)。虽然这种技术应用十分广泛，但必将被更灵活、更高效地利用芯片 面积的加工技术所取代。 与宏观传感器相比，微传感器在系统灵敏度和全量程范围方面有一定局限。对一个系统 来说，尺寸、成本以及性能方面的平衡总是交织在一起的。MEMS技术在那些对尺寸和成本 要求高，但是性能要求一般的应用方面获得了巨大的成功，MEMS在汽车中的应用就是一个 很好的例子。 汽车中的应用是微惯性传感器技术发展的主要原动力，表2-1列出了惯性传感器主要性 能指标及其在汽车中的应用（MacDonald, 1990)。加速度计是目前产量最大的微机械产品 之一，它广泛用于汽车乘客安全保障系统的安全气囊中。典型的气囊系统中，要求加速度计 能够感知20g ~ 100g的正面冲击和100g ~250g的侧面冲击，其中lg就是地球重力加速度。 单轴惯性传感器用于汽车动力系统的主动悬架系统中时，典型灵敏度为〇.5g ~10g。未来的 安全系统将需要更多的传感器来适应各种碰撞情况，测量的