1788产业专利分析报告（第1册）.pdfVIP

报告二 等离子体刻蚀机 专利分析报告 课题名称：等离子体刻蚀机专利分析 承担部门：审查业务管理部、电学发明审查部 课题负责人：葛树 课题组长.•房华龙 课题研究人员：房华龙赵星闰东王丹 主要执笔人：房华龙赵星闫东王丹 统稿人：葛树孙全亮房华龙王贞华 研究时间：2010年7~12月 课题研究合作单位： 中微半导体设备（上海）有限公司 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限 责任公司 • j m ■ ■ ■ ■ ■ ■ ■ 9 ■ 1 = 1 = = = = ■ ■ -- !I ■ - - ■ - - - - - - - - - I - - - - - - - - - 第1章研究概况 ■ ■ ■ H I i I ■I 第 1. 1技术概况 ■B