过程装备测试技术应用第二章传感器.ppt

* * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * 变磁通式工作原理 常用来测量旋转物体的角速度。图2.26为开路变磁通式传感器结构示意，线圈和磁铁静止不动，测量齿轮（导磁材料制成）固定在被测旋转体上，随之一起转动，每转过一个齿，传感器磁路磁阻变化一次，线圈产生的感应电动势的变化频率等于测量齿轮上齿轮的齿数和转速的乘积。 2.3 磁电式传感器 * 过程装备测试技术 工作原理 霍尔式传感器 2.3.2 概念 1.霍尔元件 2. 霍尔效应 fL fE v EH d I b B 定向运动的电子除受到洛仑兹力外，还受到霍尔电场的作用，当FL=FE时，达到平衡，此时 霍尔系数，材料确定后为常数 灵敏度系数 RH 为霍尔常数，e为电子荷数，n为金属导板3单位体积内的电子数，d为霍尔元件的厚度 霍尔电压UH为： 式中 n为半导体单位体积中的载流子数 E为电子电量 KH为霍尔元件灵敏度，KH＝1/ned 对于导体，霍尔系数一般较小，故霍耳元件一般用半导体制作，且愈小（薄），灵敏度愈高 。 2.3 磁电式传感器 * 过程装备测试技术 霍尔式传感器 2.3.2 霍尔传感器基本电路 霍尔元件外形和符号 2.3 磁电式传感器 * 过程装备测试技术 霍尔式传感器 2.3.2 霍尔传感器的应用 1.霍尔传感器位移测量原理 2.霍尔压力传感器结构原理 2.4 压电式传感器 * 过程装备测试技术 压电效应与压电材料 2.4.1 1.压电效应 2.逆压电效应 3.压电材料及分类： 压电晶体-----石英晶体（单晶） 压电陶瓷-----钛酸钡和锆钛酸铅系列（压电多晶） 新型压电材料 2.4 压电式传感器 * 过程装备测试技术 压电效应与压电材料 2.4.1 天然石英 2.4 压电式传感器 * 过程装备测试技术 压电效应与压电材料 2.4.1 压电陶瓷 2.4 压电式传感器 * 过程装备测试技术 压电式传感器 2.4.2 压电式传感器基本原理：利用压电材料的压电效应，实现机械能与电能相互转换的传感器。 根据工作原理：正压电效应型和逆压电效应型 压电式传感器不能用于静态测量：外力作用在压电材料上产生的电荷只有在无泄漏的情况下才能保存，需要测量回路具有无限大的输入阻抗，这实际上是不可能的。 压电式传感器适用于动态测量：压电材料在交变力的作用下，电荷可以不断补充，以供给测量回路一定的电流。 压电式传感器在有些测量中需要预载 2.4 压电式传感器 * 过程装备测试技术 压电式传感器 2.4.2 压电式加速度传感器 金属 金属氧化物 半导体 光照 电子 光电效应是光电传感器的基本转换原理。外光电效应和内光电效应。 内光电效应 光照 半导体 电子在物体 内部运动 外光电效应 金属 金属氧化物 光照 电子逸出 物体表面 光电效应和光电器件 2.5.1 一.光电效应概念 2.5 光电式传感器 过程装备测试技术 外光电效应 金属 金属氧化物 光照 电子逸出 物体表面 光电效应和光电器件 2.5.1 1.外光电效应 2.5 光电式传感器 基于外光电效应的光电器件有光电管、光电倍增管等。 过程装备测试技术 光电效应和光电器件 2.5.1 2.内光电效应概念 2.5 光电式传感器 内光电效应 光照 半导体 电子在物体 内部运动 过程装备测试技术 光电效应和光电器件 2.5.1 2.内光电效应概念 2.5 光电式传感器 （2）光生伏特效应 基于内光电效应的光电器件有光电池、光敏二极管和三极管等. (1)光电导效应 基于这种效应的光电器件有光敏电阻和反向工作的光敏二极管、光敏三极管等。 过程装备测试技术 光电效应和光电器件 2.5.1 二.光电传感器 模拟式光电传感器 又分辐射式、吸收式、反射式、透射式、时差测距传感器. 脉冲式光电传感器. 1966年，高锟就在光纤物理学上取得了突破性成果，计算出如何使光在光导纤维中进行远距离传输。这项成果最终促使光纤通信系统问世，正是光纤通信为当今互联网的发展铺平了道路。 高锟因在“有关光在纤维中的传输及用于光学通信方面”做出了突破性成就，获2009年诺贝尔物理学奖，1/2奖金。 博伊尔 史密斯 高 锟 光纤传感器 2.5.2 过程装备测试技术 光纤传感器 2.5.2 1.光纤的结构 2.传光原理 光纤传感器 2.5.2 3.光纤传感器 根据光纤在传感器中的作用一般可分为功能型和非功能型两类 根据用途，还可以制成不同的传感器 1）光纤液位传感器 2）光纤温度传感器 3）光线电流传感器 4）光纤图像传感器 2.6 其它传感器 * 过程装备测试技术 超声波传感器 2.6.1 红外传感器 2.6.2 半导体传感器 2.6.3 数字传感器 2.6.4 智能传感器 2