直流磁控溅射镀膜和膜表征.ppt

直流磁控溅射镀膜 与膜表征 重庆工学院材料科学实验室  实验性质与对象 性质:综合性实验 2、学时数:8学时 3、对象:材料工程、表面工程方向 4、注意事项:服从实验老师安排,依照操作 规程、细致地开展试验步骤  实验报告评分细则 项目分值比例|备注 实验名称 5% 实验目的 35% 5% 实验原理 原理图及必要的 文字说明15% 实验设备、器材 (全部)10% 实验操作步骤 20%(详实) 实验参数记录与 50% 30%(数据处理 数据处理 含误差估算) 思考题 15% 结果讨论与分析  实验报告处理 实验报告原则上实验结束后的一周内上交。 大注意:因旷课原因未做实验,后果自负 除旷课以外的其他非人为原因未做实验者, 请实验结束后的2个工作日内与实验老师联系, 再安排补做。香则后果自负。  实验目的 了解真空技术的基本知识及磁控溅射镀膜 仪的原理、基本构造和使用方法 2、了解磁控溅射设备镀膜的操作过程,学会 控制溅射过程的各种参数,以达到所要求 的镀膜效果。 3.测定薄膜的粗糙度,观察分析薄膜的形貌。