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X 射线探测器用 a-Si 阵列工艺技术的研究 一、什么是 X 射线 ? X 射线是一种带有能量的电磁波或辐射。它 的波长只有一亿万分之一厘米，肉眼是看 不见的。当高速运动的电子碰撞任何形态 的物质时， X 光便有可能产生。 ? 一般 X 射线波长： 0.001-50nm ? 能量 : 若取 λ=0.1nm ，光子能量是可见光 的 5000 倍 二、 X 射线的发现 ? 1895 年 11 月 8 日是一个星期五。晚上，德国 慕尼黑大学的整个校园都沉浸在一片静悄悄的 气氛当中，大家都回家度周末去了。 但是还有一个房间依然亮着灯光。灯光下， 一位年过半百的学者凝视着一叠灰黑色的照相 底片在发呆，仿佛陷入了深深的沉思 …… 他在思索什么呢？原来，这位学者以前做 过一次放电实验，为了确保实验的精确性，他 事先用锡纸和硬纸板把各种实验器材都包裹得 严严实实。可是现在，他却惊奇地发现，实验 器材附近的东西居然闪烁着荧光！而放电管旁 边这叠原本严密封闭的底片，现在也变成了灰 黑色 — 这说明它们已经曝光了！ ? 这个一般人很快就会忽略的现象，却引起 了这位学者的注意，使他产生了浓厚的兴趣。 他想：底片的变化，恰恰说明放电管放出了 一种穿透力极强的新射线，它甚至能够穿透 装底片的袋子！一定要好好研究一下。不 过 — 既然目前还不知道它是什么射线，那么 就像列方程时一样把它设为 X 吧，就叫它 “ X 射线”好了。这一年的 12 月他发表了研 究报告。科学界把发现 X 射线归功于伦琴， 把 X 射线也叫做伦琴射线。 ? 伦琴先把一个涂有磷光物质的屏幕放在放 电管附近，结果发现屏幕马上发出了亮光。 接着，他尝试着拿一些平时不透光的较轻 物质 — 比如书本、橡皮板和木板 — 放到放 电管和屏幕之间去挡那束看不见的神秘射 线，可是谁也不能把它挡住，在屏幕上几 乎看不到任何阴影，它甚至能够轻而易举 地穿透 15 毫米厚的铝板！直到他把一块厚 厚的金属板放在放电管与屏幕之间，屏幕 上才出现了金属板的阴影 — 看来这种射线 还是没有能力穿透太厚的物质。 ? 接下来更为神奇的现象发生了，当这位学 者小心翼翼地伸出手掌，试图挡在放电管 与屏幕之间时，他居然发现自己的手骨和 手的轮廓被清晰地映射到了屏幕的上面。 原来这是这种射线一个更为奇特的性质： 具有相当强度的 X 射线，可以使肌体内的骨 骼在磷光屏幕或者照相底片上投下阴影！ 这一发现对于医学的价值可是十分重 要的，它就像给了人们一副可以看穿肌肤 的“眼镜”，能够使医生的“目光”穿透 人的皮肉透视人的骨骼，清楚地观察到活 体内的各种生理和病理现象。根据这一原 理，后来人们发明了 X 射线机， X 射线已经 成为现代医学中一个不可缺少的武器。 伦琴所拍摄的第一枚 X 射线图片 三、 X 射线成像的特性 ? 穿透性、荧光效应、摄影效应、电 离效应 四、简述 X 射线成像机的历程 ? 1913 年美国物理学家克里吉制作出与今天 相同的 X 射线管，这是一种经过改进的阴极 射线管，从而大大缩短了曝光时间。 X 射线 透视检查不仅缩短了诊断骨折、异物的时 间，还为发现肺病出了很大的贡献。 这是 是用胶片成像的方法。 胶片技术的示意图 X 光光源 患者 胶片 ? 20 世纪中期，人们在成像系统中装上 X- 射 线倍增管的图像接收器，可以通过从照相 机中获取的电信号通过一个视频前置放大 器处理后可以在屏幕上观看。视频信号可 以转化成数字形式，以便于数字处理、存 储与拷贝。 ? 上面技术还不是纯粹的数字技术，因而在 20 世纪 70 年代就有人预测会逐步演变产生 光电子 — X 光成像技术。 ? 数字成像技术拥有快速处理、即时显示图 像、信息存储等优异的功能。 五、 X 线成像的基本原理 ? X 线之所以能使人体在荧屏上或胶片上形成 影像，一方面是基于 X 线的特性，即其穿透 性、荧光效应和摄影效应；另一方面是基 于人体组织有密度和厚度的差别。由于存 在这种差别，当 X 线透过人体各种不同组织 结构时，它被吸收的程度不同，所以到达 荧屏或胶片上的 X 线量即有差异。这样，在 荧屏或 X 线上就形成黑白对比不同的影像。 ? 当强度均匀的 X 线穿透厚度相等的不同密度 组织结构时，由于吸收程度不同，在 X 线片 上或荧屏上显出具有黑白 ( 或明暗 ) 对比、 层次差异的 X 线影像。在人体结构中，胸部 的肋骨密度高，对 X 线吸收多，照片上呈白 影；肺部含气体密度低， X 线吸收少，照片 上呈黑影。 ? X 光平板探测器也是应用于这个原理，只是 将荧光屏和胶片换成 X 光信号转换板，这一 项技术更新，就使平板探测器（ FD ）技术 具备巨大的优势 —— 利用 FD 技术可以即时 采集到患者图像，对图像进行后期处理， 轻松保存