半导体器件物理2_施敏.pptVIP

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第2章热平衡时的能带和载流子浓度 2.1半导体材料 2.2基本晶体结构 23基本晶体生长技术 2.4共价键 2.5能带 2.6本征载流子浓度 2.7施主与受主 §2.1半导体材料 ●固体材料:绝缘体、半导体和导体 半导体易受温度、光照、磁场及微量杂质原子影响 元素半导体:硅、锗 化合物半导体:二元、三元、四元化合物 GaAs、hp、AGa1xAs、Gaxn1xAsP1y §2.2基本晶体结构 基本立方晶体单胞 金刚石结构 闪锌矿结构 金刚石结构和闪锌矿结构的区别 3 金刚石晶格结构 SGe,C等Ⅳ族元素,原子◆正四面体结构:每个原 的最外层有四个价电子 子周围有四个最近邻的 原子。 金刚石晶格结构:复式晶格。由两个面心 立方晶格沿立方对称晶胞的体对角线错开 1/4长度套构而成。 排列方式以双原子层 ABCABC 晶格常数a(A) Ge GaAs 品格常数5430305654561 原子密度5X102442X1022 (111) ●e8 6 闪锌矿晶格结构( Zincblende structure) GaAs, InP 晶格由两种不同原子组成的面心立 方晶格套构而成。双原子复式格子 Ⅲ-V族化合物,每个原子被四 个异族原子包围 共价键中有一定的离子性,称 为极性半导体。 金刚石结构和闪锌矿结构的区别 不同:前者由两种相同的原子组成,后者 由两类不同的原子组成 ●相同:都由两面心立方晶格,沿空间对角 线彼此位移四分之一空间对角线长度套构 而成。 §2.3基本晶体生长技术 ●硅晶体、95%(目前半导体材料) 原始材料:石英岩(高纯度硅砂SiO2) 步骤:1、SC+SO2Si+SO+CO 2、Si+3HC|-SiHC3+H2 3、SHC3+H2-Si+3HC|多晶硅 4、拉单晶:柴可拉斯基法 9 CCW 籽夹持 籽是 因体慰液 石英坩 RF圈 熔磁液 Cw

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