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微探针阵列零件注射成型 1.概述 安装在内窥镜中尖探针阵列能够穿透肠胃里面癌细胞。然后提供药品或基因进入细胞进行针对性根治。在这个研究中，制备了两个探针模型。第一个模型是基于单晶硅探针阵列（高度80mm，宽高比0.17，密度780/cm2），由KOH湿蚀刻制作。第二个模型是基于不锈钢材料来制作，这是由WEDG制作和组装针灸针（高度890mm，长宽比0.45）。插电铸模具使用镍作为材料。 2.介绍 显微组织材料在汽车，航空器，生化，测量，信息技术和医疗卫生等方面有有广泛应用。显微组织周围数量级是微米等级，表面粗糙度要求超出亚微米。为了满足这些条件，很规制造技术，比如基于硅IC处理技术是部分用于制造微结构部件首要选择。 在IC制造中，硅最常见地方在于制造薄膜和膜结构。硅有一定优势，比如积分电路兼容，还有良好机械性能。假如材料要求含有光学延展性，耐化学性，无蛋白质吸收和批量生产，热塑性聚合物成型是首先选择技术。 安装在内窥镜探针阵列是很尖锐一部分，能够穿透在肠胃里面癌细胞，然后提供诊疗药品或基因进入细胞。人类细胞直径是20-30mm。要想穿透2-3层细胞或外延真皮，微型探针合适高度是50-59mm。体微加工主流技术FAB-rication生产出一批柱石。使用单晶硅晶体和各向异性蚀刻剂能够制造尖锐探针或凹槽。然而在使用单晶硅过程中有两个限制。第一个是经过蚀刻参数控制对高度和纵横比微探针限制。第二个是吸收蛋白质并不适合蛋白质基因或溶液单晶硅芯片。 聚合物通常成型技术是热压成型，反应注射成型，注射成型或注射压缩成型。塑料成型模具嵌件是必不可少。有两种方法来实现。其中之一是直接制造金属基体材料，第二种是经过延长时间来实现。哪一个方法更有优势呢？复制模具插入，主体材料是硅，PMMA等。一旦主体材料准备好，经过电铸来复制模内镶件。复制技术，电铸已经被用于光学塑料很长一段时间。比如：塑料透镜或汽车反射镜。这其中包含到金属沉淀，能够反复使用。模嵌件精度是亚微米级或纳米级。所以，模具插入正确性和主体材料有很大依靠性。 DESPA等反复研究了高纵横比微凝固组织注塑过程，模具高温对于微观结组成型是有帮助。KEMMANN等研究发觉POM复制能力比PPS愈加好。YU等人采取PMMA和OQPC去注塑微薄壁模具（最小50mm）发觉高速注射对于低残余应力一部分成型是有利。NIGGEMANN等人采取注塑成型微孔，她们发觉PC，PS，COC适适用于微型注塑成型。SU等人研究了硅微金字塔复制模具插入。她们使用了C-MOLD （2.5D冲模CAE软件）来模拟显微注射成型成型条件。微金字塔纵横比为0.707。 因为塑料经济优势，发展高宽度比探针组件注射成型技术是能够。因为小型化和显微注射成型技术，微观结构复制和保真度，尺寸精度和注射成型过程高精度要求，这些全部是需要考虑原因。所以，注塑成型机，模具和工艺条件微结构需要仔细检验。 在这项研究中，研究了两种探针主体成型性。一个是基于硅为主体，一个是不锈钢。然后，使用电铸技术制造镍模内镶件和注塑成型复制微型探针阵列。最终，经过田口试验探讨研究来找到最靠近加工参数注射压缩成型工艺。 设计和制造微型探针，以下是探针要求参数： 微探针高度大约是50-59mm; 每个探针上有小尖头； 单位面积上阵列密度高； 每个探针有高纵横比； 5，蛋白质和体液没有化学反应。 3.基于硅主体 首先，单晶硅和散装微加工来制造微探针母版。在湿法蚀刻中，EDP，KOH，TMAH和NaOH也常常见于各向异性蚀刻。在G1009和G1119KOH蚀刻速度最大比率将达成400:1。这意味着，部分蚀刻条件下，较高纵横比微探针或更少减弱效果能够得到。 探针阵列图案是矩形。P和D是间距和圆底座直径。湿法蚀刻工艺会出现减弱效应，受此影响，微型探针阵列能够直接用于硅制造。首先，模型被复制到由二氧化硅制作G1009晶圆上。然后，用蚀刻剂KOH来蚀刻晶片和减弱效果。只要形成探针针尖，晶片从蚀刻剂中取出。因为天然非均匀性和不正确操作。必需过分腐蚀。以确保大柱石形成。不过过分腐蚀将会缩短探针高度。经过这么技术，微探针纵横比是1.7和曲率半径是0.1mm。 当用KOH制造凹凸结构，水平面{411}和{311}将被形成在凸型角部{8}。基体即使加入IPA，能够降低减弱影响，新凸角面{212}将会形成。在{212}上粗糙度是{100}面上79倍。比{11}面大七倍。比{311}面大九倍。{212}面是不适合注射成型。 KOH蚀刻速率关键参数是浓度和温度。当浓度在4M周围时候，蚀刻速率在{100}面上是最快。即，大约80-C在1.2毫米每分钟周围。作为负面效应，表面粗糙度降低。比如，80-C，用8MKOH，表面粗糙度将会小于100nm。为了得到愈加好表面粗糙度插入物，百分之45KOH来进行蚀刻