单双多层增透膜的原理及应用.docVIP

单 、 双 、 多 层 增 透 膜 的 原 理 及 应 用 （转载自网络并整理） 单层λ /4 增透膜 /4 的光学增透膜（下面讨论时光学元件用玻璃来代替, 初始入射介质用空气来代 替）, 一般为在玻璃上镀一层光学厚度为λ /4 的薄膜 , 且薄膜的折射率大于空气的折射率 , 小于玻璃的折射率由菲涅耳公式知 , 光线垂直人射时 , 反射光在空气一薄膜界面和薄膜 一玻璃界面都有半波损失设空气、镀膜、玻璃的折射率分别为 n0,n1,n2 且 n2n1n0定义R01,T01为空气 - 薄膜界面的反射率与透射率 ,R01，T01为薄膜 - 空气界面的反射率与透射 ,R12， T12为薄膜 - 玻璃界面的反射率与透射率 , R21，T21为玻璃 - 薄膜界面的反射率与透射率如图 4-1 所示示 , 为了区分人射光线和反射光线 , 这里将入射光线画成斜入射， 图 4-1 中反射光线 1和2的光程差为λ /2, 这样反射光便能完全相消由菲涅耳公式知道 , 光 垂直通过界面时 , 反射率 R和透射率 T与折射率 n的关系为： 设人射光的光强为 I0, 则反射光线 1的光强 I1=I0R0, 反射光线 2的光强 I2=I0I01R12T10 。 余下的反射光的光强中会出现反射率的平方 , 因为反射率都比较小 , 故可不再考虑。λ /4 的光学增透膜使反射光线 1与反射光线 2的光程差为δ =2n1d1=λ/2, 故相位差为л , 由干涉理论知 , 干涉后的光强为 : 因为折射率 n0,n1,n2 比较接近，例如 n0=1,n2=1.5 的界面， T=96%，故可近似地取 T01 T10为1，若使 Ip 为0 ，则有 R01=R12，即： 由 n2n1n0得 n1 n0 n2 ，当上式成立时，反射率最小，透射率最大。但是涂一层膜也有 不足之处，因为常用的λ /4 光学增透膜 MgF2,MgF2的折射率为 1.38,1.38*1.38=1.9044 ，而玻璃的折射率一般在 1.5~1.8 之间，所以用 MgF2增透膜不能使反射光光强最小，再者， 一波长为λ +Δλ的光垂直入射到λ /4 的光学增透膜同波长为λ的光一样反射光线 1和反射光线 2的光程差为δ =λ/2 相位差为ΔΨ =2лλ /2 （λ +Δλ）从而干涉后的光强为： I p I1 I 2 2 I 1I 2 cos， 即 可 选 择 合 适 的 材 料 ， 使 I1=I2 ， 从 而 上 式 变 为 I p 2I1 cos2 ( . ) 。如图4-2 所示， I 为反射光的光强，Δλ为线宽， I 随Δλ的地增 2 加而迅速增加。光学厚度为λ /4 的光学增透膜的反射光强随波长的变化曲线呈 V形，这样 λ /4 的光学增透膜的透射率较大的波段就较小 , 我们称λ /4 的光学增透膜的频宽较小， 现代的照像机的镜头、摄像机的镜头 , 以及彩色电视机的荧屏并不要求在某一波长的光有很高的透射率 , 而希望在较宽的波段范围内透射率较低且一致 , 即要求增透膜的频宽较大。所以我们就可以镀两层膜，甚至是多层膜。 1 2 空气 第一层膜 玻璃 4-1 图 4-2  I 双层λ /4 膜 在需镀膜的元件上镀两层膜。这里设空气的折射率为 n0, 镀的两层膜的折射率为分别 0.4 n1 和n2, 厚度分别为 d1和 d2, 玻璃的折射率为 n3, 且有 n3n2n1n0。定义 R01,T01为空 气一第一层薄膜界面的反射率与透射率 ,R10,T10 为第一层薄膜 - 空气界面的反射率与透 0.2 射率 , R12,T12为第一层薄膜 - 第二层薄膜界面的反射率与透射率 ,R21,T21 为第二层薄膜 - 第一层薄膜界面的反射率与透射率 ,R23,T23 为第二层薄膜 - 玻璃界面的反射率与透射 率 ,R32,T32 为玻璃 - 第二层薄膜界面的反射率与透射率 Δλ , 入射光线垂直人射到介质上取 -20 -10 0 100 200 人射光的振动方程为： E0 A0 cos( t 0 ) 。 同λ /4 的光学增透膜的一样，我们只讨论反射光线 1、2、3的情况。 由n3n2n1n0知，反射光线 1、2、3都有半波损，设两层薄膜引起的光程差分别为δ 1和δ 2，反射光线 1、 2、 3的波动方程分别为： 则干涉点 P处的光强为三束光线的叠加 Ep A1 cos( t 0 ) A2 cos( t 0 2 1 ) A3 cos[ t 0 2 ( 1 2 )] 解此方程可得下述结果： （ 1）令 R01=R12=R23，即有 n1 n0 n2 n1 n3 n2 n1 n0 n2 n1 n3 n2 2 1 1 2 n03 n33 解得： n1 n0 3 n3 3 ,