(质量管理)测量系统分析.docxVIP

（质量管理）测量系统分析 2020年3月 多年的企业客询顾问经验『精|歸」作的卓越胃更疗案，值得您下载拥有! 第七篇量测系统分析 (Measureme nt System An alysis) 7.1 量测系统分析 183 7.2 计量值量测系统分析 187 7.3 计数值量测系统分析 204 spc是对任何场所依计划收集的数据数据进行简单的统计分析，以分 析制程是否稳定，而据以采取对策。然而绝大部份的数据都需经由量测系 统而得，若量测系统中的设备及人员的误差很大，则直接影响制程观测数 据的误差，以误差大的制程观测数据作为制程问题对策的依据，其付出的 代价是很难衡量的。业界除了对仪器设备进行有效的管理之外，对于制程 管制系统中使用的量测系统进行研究是很重要的。计量值由仪器设备直接 或经由人员检验读取量测结果；计数值由仪器设备自动判定或由人员目视 判定OK/NG 或GO/NOGO，两者皆受仪器设备本身或检验人员的影响。 仪器设备系统分析（MSA）以简单的实验及统计分析就能衡量仪器系统 的变异，并分离仪器设备及检验人员的变异，以此为仪器设备系统管理的 依据。 18 18 PAGE # 1 8 1 8 PAGE # 7.1量测系统分析 spc是对任何场所依计划收集的数据数据进行简单的统计分析， 以分析制程是否稳 定，而据以采取对策。绝大部份的数据都需经由量测系统而得，若量测系统中的设备及 人员的误差很大，则直接影响制程观测数据的误差，以误差大的制程观测数据作为制程 问题对策的依据，其付出的代价是很难衡量的。业界除了对仪器设备进行有效的管理之 外，对于制程管制系统中使用的量测系统，分析其准确性(Accuracy)、稳定性(Stability)、 再现性(Repeatability)及再生性(Reproducibility)的研究是很重要的。以下介绍几个专 有名词。 量测系统：包含仪器设备(Gauge)、使用人员、方法、样品及环境。 量测系统准确性(Accuracy):同一人员使用同一仪器设备，重复量测同一样品 的同一特性，所得数据的平均数与真值的差，如【图 7-1】所示。 平均數 真值 OBSERVATIO N PROCESS MEASUREMEN T 【图7-1】量测系统准确性 量测系统精密度(Precision)：总合影响量测系统的再现性、再生性及其他因素 引起的变异。 实际量测产品或制程数据，其观测得的数据受到很多原因影响，假设各原因是相互 独立的，可以由变异表示之，如下式。 TOC \o 1-5 \h \z 2 2 2 OBSERVATION 1 2 k OBSERVATION :观测数据的总变异，i :第i个原因的变异，i=1,2,…,k 一般影响制程观测数据的原因不是很容易确认及解释， 但是我们可以用实验来确认 因量测系统引起的变异及产品或制程本身的变异，如下式。 :~2 2 OBSERVATION PROCESS MEASUREMEN T 若能降低量测系统引起的变异， 可以使观测数据的总变异减小，如【图7-2】所示 因此，如何衡量量测系统的误差而且保证其误差在一定的程度下，是量测系统分析的主 要目的。 MEASUREMTEN MEASUREMEN 【图7-2】 量测系统误差 般引起量测系统误差的原因包括如下: 仪器设备本身 量测人员的个人误差 环境 样品 再现性(Repeatability):同一人员使用同一仪器设备，重复量测同一样品的 同一特性，所得数据的变异，如【图7-3】所示。仪器设备本身的变异，或称 Equipme nt Variation ，一般以标准偏差表示 Re peatibilit y 或 EV 。 Repeatibility 【图7-3】 量测系统再现性 再生性(Reproducibility):不同人员使用同一仪器设备，重复量测同一样品 的同一特性，所得数据的变异，如【图 7-4】所示。不同人员之间的差异，或 称Appraisers Variation ，—般以标准偏差表示 Reproducib ility 或 AV 。 OPERATOR【图7-4】量测系统再生性稳定性(Stability): 一仪器设备依时间的不同，随环境的改变、电力的变动或 OPERATOR 【图7-4】量测系统再生性 稳定性(Stability): 一仪器设备依时间的不同，随环境的改变、 电力的变动或 仪器设备的老化造成的变异，如【图 7-5】所示 大小 【图7-5】量测系统稳定性 准确性可依仪器的校验计划来调整其偏差，再现性及再生性一般影响较大，容易造 成产品的误验，如【图7-6】所示，而且在现场就可进行分析。为了使问题单纯化，我 们将量测系统变异只考虑再现性及再生性的变异， 而且假设仪器设备与人员的使用是独