微机电系统与微细加工技术.docVIP

微机电系统与微细加工技术 微系统是微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路甚至接口、通信和电源于一体的微型器件或系统。微系统的习惯术语有：MEMS(MicroElectro-Mechanical System，微机电系统)或MOEMS(微光机电系统，美国)、Micro-Machine(微机械，日本)、Micro Systems(微系统，欧洲)。从其尺寸角度，可分为1～10mm的微小机械，1μm～1mm的微机械，1nm～1μm的纳米机械。相应地，微细加工技术也可分为微米级、亚微米级和纳米级微细加工等。 MEMS系统主要包括微型传感器、致动器和相应的处理单元三部分。作为输入信号的自然界的各种信息，首先通过传感器转换成电信号，经过信号处理后(包括模拟/数字信号间的变换)再通过微致动器对外部世界发生作用。传感器可以实现能量的转化，从而将加速度及热等信号转换为系统可以处理的电信号。致动器则是根据信号处理，控制电路发出的指令自动完成人们所需要的各种功能。信号处理部分可以根据控制电路进行信号转换、放大和计算等处理。这一系统还能够以光、电、磁等形式与外界进行通信，并输出信号以供显示，或与其他系统协同工作，构成一个更完整的系统。 1.MEMS的应用领域 微机械无疑在生物医学、精密仪器，特别是空间狭小、操作精度高、功能高度集成的航空航天机载设备领域有巨大的应用潜力，被认为是一项面向