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* 4、扫描电镜的主要性能 分辨率 放大倍数 景深  第三十一页，共五十四页。 * （1）分辨能力 对微区成分分析而言，它是指能分析的最小区域；对成像而言，它是指能分辨两点之间的最小距离。 入射电子束束斑直径 入射电子束在样品中的扩展效应 成像方式及所用的调制信号 二次电子像的分辨率约为4-6nm，最好的现在达到0.9nm。X射线的深度和广度都远较背反射电子的发射范围大，所以X射线图像的分辨率远低于二次电子像和背反射电子像。 第三十二页，共五十四页。 * SEM的分辨率高低与检测信号种类有关。 信 号 二次电子 背散射电子 吸收电子 特征X射线 俄歇电子 分辨率 5～10 50～200 100～1000 100～1000 5～10 各种信号成像分辨率（nm） 第三十三页，共五十四页。 * 影响分辨率的三大因素：1、电子束束斑大小　2、检测信号类型　3、检测部位原子序数SEM的分辨率是通过测定图象中两个颗粒间的最小距离确定的。 日立s-570：3.5nm 第三十四页，共五十四页。 * (2)放大倍数 扫描电镜的放大倍数可用表达式 M=AC/AS 式中AC是荧光屏上图像的边长， AS是电子束在样品上的扫描振幅。 90年代后期生产的高级SEM的放大倍数从数倍—