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- 2022-10-20 发布于重庆
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* I-2:断线降低改善效果确认 断线率及对应A+B改善趋势图 硅料成本 线网成本 第二十八页,共四十一页。 * I-3:耗线降低改善—切割能力提升 A: 影响系统切割力因素 钢线 品质 1 钢线芯线表面质量; 2 金刚石表面形貌; 3 钢线金刚石线密度指标; 设备 性能 浆液 供给 1 导轮轴间距; 2 设备装配精度; 1 冷却液分散能力; 2 冷却液单刀使用量; 3 冷却液供给方式; 超出本项目改善范围 反馈相关供应商改善 改善点 B:对策拟定: 为提升系统切割能力,通过浆液引流板结构改造,提升分散液切割有效参与度,通过加大硅粉排泄,提升系统切割能力。 第二十九页,共四十一页。 改善前 改善后 * I-3:耗线降低改善—切割能力提升 机台浆液供给结构改善 改善后 改善前 改善说明: 通过浆液引流板结构改造,引流板距离切缝距离缩小,有利于提升分散液切割有效参与度,并过加大切割后硅粉排泄能力,以提升系统切割能力。 切割力提升 良率 91.27% 93.09% 12mm 5mm 为降低耗线提供有效支撑! 第三十页,共四十一页。 * I-3:耗线降低改善—试验验证 单片耗线降低路线图 耗线工艺 切割 刀数 A+B率 A片率 线痕 崩边率 TTV率 色差率 线痕 C率 8m/pcs 164 95.09% 93.83% 0.15% 0.34% 0.71% 0.01% 0.39% 6m/pcs 181 95.59% 93.50% 0.02% 0.30% 0.82% 0.85% 0.58% 4.5m/pcs 196 95.24% 93.45% 0.04% 0.34% 0.71% 0.60% 0.82% 不同耗线工艺下良率对比 上述数据对比表明良率降低不明显 钢线成本下降44% 1.89 1.55 经过前期切割能力 提升准备及工艺优 化;耗线减少TTV 制程CPK小幅降低 但仍在管控范围内 结论:耗线成本降低40%,TTV制程CPK降幅仍在SPC管控范围内,具备推广条件! 8m/pcs 6m/pcs 4.5m/pcs 单片耗线 改善时间 第三十一页,共四十一页。 * I-4:耗液降低改善—液回收循环利用 集中冷却 集中压滤 冷却液循环回收利用 改善前浆液运行 改善后浆液运行方案 改善说明: 多机台并联,实现冷却液循环回收利用,降低冷却液单耗; 引入压滤系统,稳定体系硅粉浓度,降低切缝硅粉残留量,提升切割能力; 取消单台机台浆液缸缸清洗/更换动作及频次,降低员工劳动负荷; 第三十二页,共四十一页。 * I-4:耗液降低改善— 1.86 改善预估效果 冷却液循环回收利用降低冷却液成本接近30%; 改善额外效果 硅片TTV不良制程能力升高,为缩小工艺窗口降低单片耗线提供进一步支撑; 结论: 冷却液回收循环利用系统具备推广条件! 下降27.3% 效果确认 第三十三页,共四十一页。 I-5: I 阶段总结 * 第三十四页,共四十一页。 Control管制绩效 阶段目标 主要活动 工具与手法 产出 此阶段是使过程/产品改善制度化与监测现有绩效,以便保持改善阶段取得的效益。 标准化 (Standardization) 评估成效 标准程序 训练计划 潜在问题分析 Develop Process Control Plan/Standardization Continuous Improvement 对策 标准化 持续改善 第三十五页,共四十一页。 C-1:效果确认—因子降本贡献 类别 措施 衡量指标 改善前 改善后 A片率 效果确认 改善百分比 降本幅度 说明 硅料成本 降低工艺硅耗 单刀硅片出片数(pcs) 1754 1852 93.50% 5.98% 5.98% 增加片数按照良率转化为A级片数计算 降低硅料浪费 A+B率提升 92.69% 96.30% 3.89% 3.64% 钢线成本 降低工艺线耗 单片耗线量/m 8.0 4.5 43.75% 43.75% 降线比例计算 降低断线线损 断线线网报废率 4.51% 1.89% 2.62% 1.40% 线网长度4km计算 冷却液成本 冷却液回收利用 单刀耗液量/L 1.1 0.76 30.91% 30.91% 耗液降低比例计算 7.53 6.70 6.14 摊销成本统一按照0.6元/pcs计算 * 18.5% 第三十六页,共四十一页。 C-2:财务收益 年化收益2100万 * 本项目的改善,无形价值: 巩固了协鑫切片事业体金刚线技术储备。 项目积累技术、操作知识可具备大规模转化为生产力条件。 进一步提升事业体行业内竞争力。 第三十七页,共四十一页。 * C-3:标准化 工程层面 工艺层面 操作层面 WSK金刚线切片作业指导书(修订) WSK金刚线切片机清洗作业指导书(修订) WSK金刚线切
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