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PVD镀膜工艺 PVD镀膜工艺 1.装饰件材料（底材） 金属。不锈钢、钢基合金、锌基合金等。 玻璃、陶瓷。 塑料。abs、pvc、pc、sheet、尼龙、水晶等。 柔性材料。涤纶膜、pc、纸张、布、泡沫塑料、钢带等。 2.装饰膜种类 金属基材装饰膜层：tin、zrn、tic、crnx、ticn、crcn、ti02、al等。 玻璃、陶瓷装饰膜层：tio2、cr2o3、mgf2、zns等。 塑料基材装饰膜层：ai、cu、ni、si02、ti02、ito、mgf2。 柔性材料装饰膜层：al、lto、ti02、zns等。 3.部分金属基材装饰膜颜色 金属基材装饰膜的种类和色调很多。表1为部分金属基材装饰膜的种类及颜 色。 表1部分金属基材装饰膜的种类及颜色膜层种类色调 tinx 浅黄、金黄、棕黄、黑色 tic 浅灰色、深灰色 ticxny 精选文库 赤金黄色、玫瑰金色、棕色、紫色 tin+au 金色 zrn 金黄色 zrcxny 金色、银色 tio2 紫青蓝、绿、黄、橙红色 crnx 银白色 tixal-nx 金黄色、棕色、黑色 tixzral-nx 金黄色 3.装饰膜的镀制工艺 一．金属件装饰膜镀制工艺 比较成熟的镀膜技术有电弧离子镀、磁控溅射离子镀和复合离子镀。下面分 别从各类镀膜技术中采用一种拥有代表性的典型镀制工艺进行介绍。 1)用电弧离子镀的方法为黄铜电镀亮铬或镍手表壳镀制ticn膜。 采用小弧源镀膜机和脉冲偏压电源； 工件冲刷、上架、入炉 —2 精选文库 工件在入炉从前要经过超声波冲刷、酸洗和漂洗三道工序。 首先是在超声波冲刷槽中放入按使用要求配制的金属冲刷剂，利用超声波进 行脱脂、冲刷。冲刷之后，进行酸洗，它可以中和超声波冲刷时节余的碱液，还 能起到活化办理的作用。然后进行漂洗以彻底除去酸液，漂洗时必须采用去离子 纯净水或蒸馏水。经过三洗后，即时进行烘干，温度一般控制在100℃左右，时 间为1h左右。也可以风吹干后马上人炉。 镀膜前的准备工作①清洁真空镀膜室。用吸尘器将真空镀膜室清洁一遍。当经过多次镀膜时， 真空镀膜室的内衬板还需作定期冲刷，一般是半个月冲刷一次。 ②检查电弧蒸起源。工作前，要保证电弧蒸起源起源安装正确，绝缘优异， 引弧针控制灵活,程合适，恰好能触及阴极表面。 ③检查工件架的绝缘情况。工件架与地之间的绝缘必须须优异，负偏压电源 与工件架的接触点点必须接触优异。 以上几项工作保证没有问题后，才可以关闭真空镀膜室的门，进行抽气和镀 膜。 抽真空 真空抽至6.6x10-3pa。开始是粗抽，从大气抽至5pa左右，用油扩散泵 进行细抽。在粗抽时，可以烘烤加热至150℃。陪同镀膜室温度的升高，器壁放 气会使真空度降低，然后又上升，等到温度上升到6.6x10-3pa时方可进行镀 膜工作。 轰击冲刷①氩离子轰击冲刷 —3 精选文库 真空度：通人高纯度氩气(99.999%)真空度保持在2～3pa。轰击电压：800～ 1000v。轰击时间：10min. 现在在真空镀膜室内发生辉光放电，放电产生的氩离子以较高的能量撞击工 件表面，将工件表面吸附的气体、杂质和工件表面层原子溅射下来，露出材料的 新鲜表面。 ②钛轰击 真空度：通人高纯度氩气使真空度保持在2x10-2pa。脉冲偏压：400～ 500v，占空比20%。电弧电流：60～80a，轮换引燃电弧蒸起源，每个电弧蒸 起源引燃1～2min。 (5)镀膜 ①镀钛 真空度：通人高纯度氩气，真空度保持在2x10-2pa。脉冲偏压：200～ 300v，占空比50%。电弧电流：60～80a，引燃全部弧源，时间2～3min. ②镀ticn 真空度：通人高纯度氮气使真空度保持在(3～8)x10-1pa，然后再渐渐加 大c2h2气体，随着c2h2气体量增大，色泽由金黄一赤金黄一玫瑰金一黑色变化。控制n2与c2h2两种气体的比率可以达到预定的色度。 电弧电流：50～70a。脉冲偏压：100～150v，占空比60%～80%。沉积 温度：200℃左右。镀膜时间：10～20min，膜层厚度0.2～0.5μm。 冷却 镀膜工序结束后，首先关闭电弧电源和偏压电源，然后关闭气源、停转架。 工件在真空镀膜室内冷却至80～100℃时，向镀膜室内充大气，取出工件。 —4 精选文库 2)用磁控溅射离子镀技术为黄铜电镀亮铬的卫生洁具镀制zrn膜。采用基材 为锆的非平衡磁控溅射靶和中频电源，以及脉冲偏压电源。 抽真空 5x10-3～6.6x10-13pa本底真空。加热温度应在真空室器壁放气后又回 升到100～150℃。 2)轰击冲刷 真空度：通人氩气真空度保持在2～3pa。轰击电压：800～1000v，脉冲 占空比20%。轰击时间：10min。 (3)镀膜①沉积锆底层 真空度：通入氩气，真空度保持在sxlo-1pa。靶