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磁流体是由强磁性微粉(10～15nm大小的Fe3O4)、表面活化剂和运载液体所构成的悬浮液，将非磁性材料的磨粒混入磁流体中，置于有磁场梯度的环境内，则非磁性磨粒在磁流体将受磁浮力作用向低磁力方向移动，与工件置产生相对运动，磨粒将对工件的表面产生抛光加工。 3）磁流体抛光 6.4.2 超精密加工技术的原理及特点 ∨ ∧ 第九十四页，共一百四十一页。 6.5 微纳制造 6.5.1 微纳制造的发展 6.5.2 微系统的关键技术 6.5.3 纳米加工技术 6.5.4 微纳制造例子 ∨ ∧ 第九十五页，共一百四十一页。 微纳制造技术是关于微系统和纳米技术的统称。 1）微系统 是指集成了微电子和微机械（或光学、化学、生物等方面微元件）的系统。它以微米尺度理论为基础，用批量化的微电子技术和三维加工技术来完成信息获取、处理及执行等功能。微系统按特征尺寸范围可分为三类：1mm~ 10mm的微小机械，1μm~1mm的微机械，1n~10μm的纳米机械。 2）纳米技术 是指纳米级0.1nm~100nm的材料、设计、加工、测量、控制和产品的技术。 6.5.1 微纳制造的发展 ∨ ∧ 1. 微纳制造的概念 第九十六页，共一百四十一页。 对工农业、信息、环境、生物医疗、空间、国防等领域的发展将产生重大影响。 传感器和调配药剂量的“药剂师”集于一身，制成微型“智能药丸”，通过口服或皮下注射进入人体，用以探测和清除人体内的癌细胞。 微系统可用于视网膜手术、修补血管等。 在工业领域，在管路检修和飞机内部检修等狭窄空间和恶劣环境下进行诊断和修复工作。 在航空航天领域自适应性蒙皮，用以改善气流特性； 在汽车轮胎内嵌入微型压力传感器用以保持适当充气，避免无气过量或不足，仅此一项就可节油10％，仅美国国防部系统就能节省几十亿美元的汽油费。 6.5.1 微纳制造的发展 2.纳制造技术的应用 ∨ ∧ 第九十七页，共一百四十一页。 6.5.2 微系统的关键技术 微系统是一个新兴的、多学科交叉的高科技领域，其涉及许多关键技术。当一个系统的特征尺寸达到微米级和纳米级时，将会产生许多新的科学问题。 微系统研究领域的前沿关键技术有： 微系统设计技术 微细加工技术 微系统组装和封装技术 微系统的表征和测试技术 ∨ ∧ 第九十八页，共一百四十一页。 6.5.3 纳米加工技术 纳米加工技术主要有5个方面： ①采用微化的定形整体刀具或非定形磨料工具进行机械加工：如车削、钻削、铣削和磨削。 ②采用电加工或在其基础上的复合加工，如微细电火花加工、线放电磨削加工、线电化磨削、电化加工等。 ③采用光、声等能量加工法，如微细激光束加工、微细超声加工。 ④采用光化掩模加工法，如光刻法，LIGA法。 ⑤采用层积增生法，如曲面的磁膜镀覆，多层薄膜镀覆和液滴层积。 ∨ ∧ 第九十九页，共一百四十一页。 1）光刻电铸（LIGA）技术 它的工艺过程为： ①采用深层同步辐射光刻，涂覆光致抗蚀剂（图a），经X射线曝光蚀刻出图形（图b）； ②电铸，以曝光蚀刻的图形实体作为电铸用胎模，用电沉积法在胎模上沉积金属（图c），生成微铸件（图d） ③注射成形，以微铸件为模具，即可加工所要求的微零件（图e）。 6.5.3 纳米加工技术 ∨ ∧ 图6-18 LIGA法的工艺过程 a）涂覆光致抗蚀剂 b）X射线曝光蚀刻 c）电铸 d）微铸件 e）注射成形零件 d） 第一百页，共一百四十一页。 2）半导体加工技术 半导体加工技术即半导体表面和立体的微细加工，指在以硅为主要材料的基片上进行沉积、光刻与蚀刻的工艺过程。半导体加工技术使微系统的制作具有低成本、大批量生产的潜力。 6.5.3 纳米加工技术 ∨ ∧ 第一百零一页，共一百四十一页。 激光加工实例 6.3.1 激光加工技术 ∨ ∧ 第六十二页，共一百四十一页。 6.3.2 电子束加工技术 利用阴极发射电子，经加速、聚焦成电子束，直接射到放置于真空室中的工件上，按规定要求进行加工。 1－工作台 2－加工室 3－电磁透镜 4－阳极 5－栅极 6－灯丝 7－电源 8－电子束 9－偏转线圈 10－工件 11－电子束斑点 排气 排气 2 10 11 ∨ ∧ 第六十三页，共一百四十一页。 电子束加工的两类方法： 电子束高能量密度加工(热效应） 利用电子束热效应进行电子束加工，有热处理、区域精炼、熔化、蒸发、穿孔、切槽、焊接等。 电子束低能量密度加工（化学效应） 几乎不会引起表面温升，入射的电子与高分子材料的分子碰撞时，会使它的分子链切断或重新聚合，从而使高分子材料的化学性质和分子量