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mems水平式隧穿磁强计驱动电压的改进 隧道坍塌传感器（也称为隧道效应传感器）是20世纪90年代初发展起来的一种高度灵敏度位移传感器。根据测量，隧道测量传感器可分为隧道加速度计、隧道红外探测仪、隧道角速度计、隧道磁强计等。其工作原理与扫描隧道显微镜基本相同,利用了量子力学中的隧道效应。 在国内,清华大学汤学华等人设计出了一种新型隧穿磁强计——水平式隧穿磁强计,其特点是反映磁场变化的Lorentz力与敏感元件在同一水平面内。并成功研制出隧穿式磁强计的原理性实验样机。但因为驱动电压过大,为63 V左右,不符合卫星上的使用条件(微小型卫星上磁强计使用的电源电压为15～20 V),故所产生的梳齿静电力大致为原梳齿静电力31.14 μN的三分之一。为此,本文基于实际应用出发,在采用水平式结构的基础上通过改变梁结构的方法达到原电压下的位移距离3 μm,并用有限元分析软件进行模拟仿真。 1 减少隧道电流间隙 水平式单折绕梁结构隧穿磁强计结构如图1所示。其中,梳齿产生的梳齿静电力拉动质量块运动,使硅尖电极和检测电极之间的距离从原始间隙减少至能产生隧道电流的1 nm间隙。因为其梁由折叠梁与绕梁2部分组成,取代了原先的直梁,所以大大增加了梁的结构变形,使得在梳齿静电力为原三分之一的情况下,即驱动电压为20 V左右时,依旧达到原位移3 μm成为可能。 2 基于anasis的三维建模 单折绕梁结构的有限