高精度MEMS陀螺仪：原理、工艺与产业链.pdfVIP

目录 1 MEMS 陀螺仪工作原理 4 1.1 用科里奥利力测量角速度 4 1.2 用MEMS 实现：静电驱动、电容检测 5 2 高精度与消费级MEMS 陀螺仪的主要区别 6 2.1 高精度MEMS 陀螺仪的四大应用领域 7 2.2 不同精度MEMS 陀螺仪的结构差异 8 3 MEMS 与ASIC 制备、封装工艺与测试 9 3.1 MEMS 工艺 10 3.2 ASIC 工艺 15 3.3 封装工艺 15 3.4 测试 16 4 MEMS 陀螺仪产业链 16 4.1 MEMS 陀螺仪产业链及相关企业 16 4.2 国内MEMS 陀螺仪性能指标对比 18 5 风险提示 19 2 图表目录 图表1： 科里奥利力原理4 图表2： 典型MEMS 陀螺仪结构6 图表3： 各类别陀螺仪的主要应用领域、主要技术、代表厂商6 图表4： 高性能MEMS惯性传感器的四大应用领域 7 图表5： 陀螺技术应用现状7 图表6： 陀螺技术应用远景7 图表7： 单质量块陀螺仪示意图8 图表8： 双质量块陀螺仪示意图8 图表9： MEMS 惯性器件的发展 9 图表10： 国内外相关企业先进MEMS 陀螺仪结构及零偏稳定性 9 图表7：湿法SOG 工艺 11 图表8：湿法SOG 工艺制作的MEMS 陀螺仪SEM 照片 11 图表11： 干法SOG 工艺 11 图表12： 正面体硅工艺 12 图表13： 体硅SOI 工艺 13 图表14： 表面硅工艺 14 图表15： 硅MEMS 工艺对比 14 图表16： 圆片级封装示意图 15 图表17： 3D 集成示意图 16 图表18： MEMS 陀螺仪产业链 18 图表19： 国内MEMS 陀螺仪相关企业及典型产品性能 19 3 1 MEMS 陀螺仪工作原理 1.1 用科里奥利力测量角速度 科里奥利力 （Coriolis force）是对旋转体系中进行直线运动的质点由于惯性 相对于旋转体系产生的直线运动的偏移的一种描述，科里奥利力来自于物体运动 所具有的惯性，是在转动的坐标系里为了解释运动物体由于坐标转动发生偏转的 现象而引入的一种虚构的力。 MEMS 陀螺仪通过科里奥利力来测量角速度，ADI 官网介绍了MEMS 陀螺 仪的工作原理：设在以角速度 沿逆时针方向转动的水平圆盘上，有AB 两点， O 为圆盘中心，且有OAOB，在A 点以相对于圆盘的速度V 沿半径方向向B 点 抛出一球。如果圆盘是静止的，则经过一段时间∆t= (OA-OB）/ V 后，球会到达 ′ B ，但结果是球到达了B 转动的前方一点 ，对这现象可如下分析，由于圆盘 ′ 在转动，故球离开A 时，除了具有径向速度 外，还具有切向速度 ，而B 的切 向速度为 ，由于B 的位置靠近圆心，所以 ＞ ，在垂直于AB 的方向上，球 运动得比B 远些。这是在盘外不转动的惯性系观察到的情形。 图表1：科里奥利力原理 资料来源：ADI 官网，中邮证券研究所 科里奥利力