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关于认识识别方法中的光学测量仪器 1 待测器件评估 干预针头钻孔是一种重要的光学测量机器。它用于验证光的等倾干涉和光的等厚干扰，以及光的波长和薄膜厚度。当然经过适当的改进,利用迈克尔逊也可以测量透明材料的折射率,以往主要利用零光程差来测量,见图1。 首先调节M1与M2的等光程(没放待测材料),再在其中可移动M2光路上放上厚度均匀待测透明材料,材料与导轨垂直,调节M2使与M1再次等光程。假如M2移动x(m),材料的厚度为d(m),那么材料的折射率就等于: n=xd+1n=xd+1 显然这种方法测量准确度也很高,但调节等光程比较难,如果利用白光干涉调节,难度更大,而且待测材料的厚度不宜很大(一般不能超过0.2 mm),这样对器件加工要求很高。 现在如果光路图不变(见图1),不利用以往的等光程性,首先把厚度均匀的待测器件如图一放好,使器件垂直于导轨,一般可以这样调节:如果经M2反射的这路光程大于经M1反射的光程,使器件微微左右转动,以使干涉圆环不再向里吞,再使器件前后微调,也是使圆环不再向里吞。现在通过微微转动待测器件,圆环将不断向外吐,记下所吐的圆环数与器件转过的角度,就可以算出待测器件的折射率。具体分析,见图2(为了便于看清楚,放大了待测器件厚度)。 AB线是光路的入射到器件的方向(也垂直M2镜面),初始器件垂直于AB放置,前表面见图2的CD方位,现在绕着O点(光线入射到器件上的点)转动i角度,这样光线经过器件前后表面二次折射后从G点射出,射出光线与入射方向平行。其中折射角为r,光线在器件中所走的路程为s,过G作GH垂直于AB,垂足为K,线段OK的长度设为l,器件的厚度为b。转过i角度后,器件前后面现处于的位置为EF与MN方向,OP是法线。根据几何关系,算出转过i角度后,光程的改变量,先假设器件的折射率为n。(空气折射率为1) sini=nsinr?sinr=sininscosr=b?s=bcosr=b1?sin2r√sini=nsinr?sinr=sininscosr=b?s=bcosr=b1-sin2r scos(ir)=l 光程的变化(没有考虑回路): Δx=nsnb(lb) 以上可以看出,只要数出器件转动角i度圆环的吐出个数N,就可以计算光程的变化量(没有考虑回路,氦氖激光器发出波长:632.8 nm): Δx=N2632.8×109(2)Δx=Ν2632.8×109(2) 根据光路的可逆性,考虑来回,只要在公式(1)、(2)两边同乘以2就可以了。这样由公式(1)、(2)联立可得: 2[nsnb(lb)]=2N2632.8×109(3)b)]=2Ν2632.8×109(3) 把推算的s、l代入公式(3)就可以得到一个一元方程,解出n,取物理上可接受的解就是待测器件的折射率。 当然也可以利用计算机强大的数据处理能力,设定一定范围,不断递进推算,以便找到最佳的值。 2 图像1.积分波型 根据前面原理,选了两块均匀等厚的玻璃片,折射率的参考值为:1.49(以632.8nm光测量),借助于分光计来测量转动的角度,实测数据如下: 通过等厚玻璃片1与玻璃片2吐50环所转动的角度大致相等,可见实验数据是可靠的,当然角度测量的波动性还是较大的。用螺旋测微器测量玻璃片的厚度为:3.485±0.005 mm。 这样利用玻璃片厚度b=3.485 mm,吐50圆环所需转过的角度均值9°25′,利用MATLAB来处理数据,下面是在MATLAB软件中编的一个简单程序来计算待测器件的折射率。 打印了一部分误差较小的折射率的值,通过这些数据可以看出的确存在一个极小值,也就是要求解的值,即折射率为:1.502,绝对误差为:0.012。 折射率n=1.498,误差8.081 742e005 折射率n=1.499,误差5.984 476e005 折射率n=1.5,误差3.890 032e005 折射率n=1.501,误差1.798 404e005 折射率n=1.502,误差2.904 144e006 折射率n=1.503,误差2.376 428e005 折射率n=1.504,误差4.459 643e005 折射率n=1.505,误差6.540 064e005 折射率n=1.506,误差8.617 698e005 为了更加直观地看出整个折射率变化引起误差绝对值变化情况,在折射率的变化范围(12.5)画出了整个变化曲线,见图3(折射率按0.01递进)。 从这个变化曲线中可以清晰看出有整个区间只有一个极小值存在,也就是要寻求的解。 3 测量的准确度 利用迈克尔逊干涉仪能测量光程微小变化的特性,提出了一种测量透明材料折射率的新方法,它具有操作简单,对器件加工要求不高,测量的准确度也较好。不足之处是必需借助于计算机来处理数据,而且对角度的测量要求较高,因为测量结果对