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基于labview的柔性几何量虚拟量仪的开发 自20世纪80年代以来，虚拟仪器技术在广泛的能源、振动等检测领域得到了广泛应用。然而，直接应用于几何检测领域（包括大小、形状误差和运动误差）的虚拟仪器技术有很多困难。这是因为几何测量严格需要对传感器和测量对象之间的相对空间关系，以及测量基准或基准（标准）。本研究借鉴虚拟仪器的理念, 立足于误差分离的方法, 在虚拟仪器开发平台LabVIEW上, 试作以软件的方式实现可柔性地适应不同工件的形状误差和不同装备的运动误差的在机 (on machine) 测量与分离, 以及数据后处理和评定。经过实际测量操作验证, 其测量结果与从传统的实体量仪获得的结果基本无异, 为最终开发出更广泛意义下的柔性几何量虚拟量仪进行了预研。 1 形状误差的测量算法描述 进行高精度在机测量时, 测量操作中产生的误差通常都包含工件的形状误差和加工机 (或测量机) 的运动误差等。其中形状误差有圆度、直线度、平面度、圆柱度误差等, 运动误差有平动误差、转动误差等。误差分离 (ES, error separation) 方法采用多个传感器 (或单个传感器的多次转位或移步) 对工件进行测量, 能够实现工件的形状误差与加工机 (或测量机) 的运动误差测量与分离。国内外学者经过近40年的研究, 提出各有特点的几十种不同误差分离方法, 为了纳入统一的虚拟几何量仪系统, 笔者提出了“一维和多维误差分离技术的统一理论”, 原理如下: 一维和多维误差分离的测量读数方程可以统一表达为 Z=AH+BΔ(1) 式中,Z为多通道传感器读数信号列向量;A、B分别为被测工件形状误差映射矩阵和加工机 (或测量机) 运动误差映射矩阵;H、Δ分别为形状误差列向量和运动误差列向量。 人为的设置一个权值系数行向量C, 使之左乘式 (1) 的两端, 可得 CZ=CAH+CBΔ(2) 然后对上式进行下列的两次分离操作, 即可分离出形状误差或运动误差, 这里以先分离形状误差的一维误差分离技术为例进行说明: ①首次操作。合理选择C使式 (2) 中CBΔ=0, 可先消除各运动误差分量的影响, 得到只包含形状误差的组合信号方程 CZ=CAH(3) ②二次操作。按照频域法或时域法进行操作, 当采用频域法时, 对上式进行离散Fourier变换 (DFT) , 记Z(k) =DFT[h(n) ],H(k) =DFT[h(n) ], 则有 Z(k)=H(k)G(k)(4) 式中,G(k) 为测量和分离系统的权函数, 它只与系统的结构参数有关, 表示了测量与分离系统的传递特性。 当G(k) ≠0, 有H(k) =Z(k) /G(k) (5) 对式 (5) 进行离散Fourier逆变换 (IDFT) , 最终可以得到工件形状误差 h(n)=IDFT[H(k)](6) 例如, 上述测量和分离过程具体化到测量圆度或者直线度时, 就分别为求解下列方程的过程。 ①圆度三点法: ???z0(n)z1(n)z2(n)???=???100010001??????h(n+p0)h(n+p1)h(n+p2)???+???cos(p0?Δθ)cos(p1?Δθ)cos(p2?Δθ)sin(p0?Δθ)sin(p1?Δθ)sin(p2?Δθ)??????δx(n)δy(n)???(7) ②直线频域三点法: ???z0(n)z1(n)z2(n)???=???100010001??????h(n+p0)h(n+p1)h(n+p2)???+???111p0?Δlp1?Δlp2?Δl???[δ(n)γ(n)](8) 上两式中pi为传感器安装间隔;Δθ=2π/N, Δl=L/N为采样间隔;N为总采样点数;L为被测量长度。 2 运动误差的测量 本研究试行开发的虚拟量仪系统主要用于工件形状误差和装备运动部件运动误差的测量, 和一般的虚拟量仪相似, 由计算机、仪器硬件、应用软件组成。 2.1 数据采集、传输和预处理 硬件总体框架如图1所示。主要由计算机和仪器硬件组成, 前者包括微处理器、存储器、显示器等, 主要用于实时高效的数据采集、传输和预处理, 为后期处理提供可靠数据。仪器硬件包括各种传感器、测量架和通用标准总线接口, 例如插入式数据采集卡 (DAQ) , 主要完成信号的采集和传输。由于数据采集时要求在机床或测量机的主轴每转动一个指定角度或工作台每移动一个指定长度时采集一次, 因此需要有编码器或漏光盘等同步触发设备来提供外部时钟控制。 2.2 子任务的控制 本系统是在美国国家仪器公司出品的LabVIEW平台上编制的, 可运行于Windows平台和其他操作平台上。软件开发时要针对众多不同的测量对象选择相应的方法, 并按照模块化设计的理念把测试任务分解成一系列的子任务, 每一项子任务还可以分解为更小的子任务