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- 2023-10-12 发布于江苏
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半导体无尘车间管理制度
(ISO9001-)
1.0目的
半导体产品生产过程对车间有明确的干净规定,为了满足生产工艺需要、确保产品质量、安全生产,必须对干净室的环境、人员、物料、设备、生产过程等进行控制。
2.0管理原则
2.1进入干净室的管理,涉及对干净室工作人员进入、物料进入、各类设备的搬入以及有关的设备、管线的维护管理,应做到不得将微粒、微生物带入干净室。
2.2操作管理技术,对干净室内人员用干净工作服的制作、穿着和清洗;操作人员的移动和动作;室内设备及装修材料的选择和清扫、灭茵等,尽量地减少、避免干净室内尘粒、微生物的产生、滞留、繁殖等。
2.3严格各类设备、设施的维护管理,制订对应的操作规程,确保各类设备、设施按规定正常运转,涉及净化空调系统、各类水气电系统、生产工艺设备和工器具(工装夹具)等。以确保产品生产工艺规定和空气干净度等级。
2.4清扫、灭菌管理,对干净室内的各类设备、设施的清扫、灭茵以及办法、周期和检查作明确的规定,避免、捎除干净室内尘粒、微生物的产生、滞留、繁殖。
2.5干净室环境控制的内容涉及:空气净化、干净建筑、与产品直接接触的水或气体或化学品和生产设备、工器具等的污染物控制以及微振动、噪声、静电的控制、避免等。
3.0合用范畴
半导体公司全部干净生产区及干净辅助间(涉及人员净化用室、物料净化用室和有关生活用室等)、车间内管理区(涉及部分办公、值班、管理和体息室等)和将来新建、改建、扩建的干净厂房及其辅助用房。
4.0术语
干净生产区是干净厂房的重要部分,对干净级别有明确规定的区域。
干净辅助间是干净厂房不可缺少的必备房间。干净辅助间对干净厂房的平面关系亲密,对干净厂房的建造带来影响和投产后能否满足产品生产的需要以及能否可靠地避免生产过程的污染或交叉污染至关重要。
管理区是干净厂房内的产品生产过程的生产管理、技术管理用房和必要的操作人员的休息、福运用房。
设备区即净化空调系统、公用动力系统等用房,是干净厂房的重要构成部分。
5.0管理程序
5.1无尘车间干净室施工管理制度
5.1.1背景
5.1.1.1半导体制造业必须在干净的环境中进行,在施工中必须遵照行业规则和程序。本文献列出了这些规则和程序的概要。为了确保项目的成功,现场的每一位人员都必须恪守。
5.1.1.2图纸上对于施工的干净建设草案将被强制执行。这涉及除了原料和成品仓库以外的全部主厂房内的地方。
5.1.1.3干净室施工管理制度现在重要针对一期主厂房内的局部改造和扩建,后期全部干净室施工项目仍按照本制度规定的原则进行管理。
5.1.2责任与义务
5.1.2.1全部承包商有责任确保他们的工人都理解这些规则和程序,并且在他们疏于遵从或违反时予以培训和训练。被分派到干净建设区域的每位工人有责任和义务理解并恪守干净建设规则和程序。
5.1.2.2承包商负责执行干净室草案。他将每天对干净建设区域进行检查,并填写检查清单。承包商负责提供干净室所需物品,例如:鞋套,毛巾,垫子和工装。他也负责提供每日执行干净规则和程序的人员和设备。
5.1.2.3承包商建造区域入口并对其进行管理。他提供清洗晾晒每个入口处鞋、外套和衣服的清洗店。他将对在干净区域工作的人员进行培训,并维护被允许在此区域工作的人员身份认定和管理。
5.1.2.4开始阶段,承包商应在每个入口处安排人员(除非半导体公司在该入口处安排有人员)以确保本规则和程序的执行。
5.1.2.5重复违反规则和程序的人员将被开除。没有贯彻执行本规则和程序的供应商将被除名。
5.1.3草案细则
干净室草案分为三部分,每一部分对应施工的一种过程。施工靠近竣工阶段,不允许从外面或干净区域的施工场地带入脏物。
5.1.3.1第一部分
第一部分重要针对直到重要施工完毕后。涉及屋顶,覆层,门和窗户。全部工人必须从图纸上标明的通道进出施工现场。每个入口将会有清洗店。全部工人进入必须保持鞋子干净。不允许穿奇特的服装,工人的衣服应当保持适宜的干净。现场安全规则必须时刻恪守。
全部设备和材料必须从一种入口进入施工现场,并且保持干净,不允许有碎片掉下。
施工现场内不允许吃东西,吸烟,喝酒。
每班结束时,必须清走全部垃圾和废旧物品。总之,整个施工现场每天必须保持干净。
5.1.3.2第二部分
第二部分重要针对直到gridline B西边干净区域的内墙完毕。此时,只允许承包商雇佣的工人在干净区域。其它供应商如果要进入干净区域,必须提前向承包商提出申请,得到允许后方可进入。工人、设备和材料的入口是通过威世半导体(西安)有限公司管理人员同意的。
Gridlines 1和2之间的通向成品仓库的外门。
Gridlines 15和16之间的通向原料仓库的外门。
其它入口必须通过干净工程承包商的书面同意。两个入口旁边将会为很可能造成污染的材料准备或
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