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基于双向剪切干涉的激光准直检校方法研究 0 双向剪切干涉法准直检校方法 随着激光技术的发展，现代光学实验中的高参考参数光束常被用来测量，因此需要对激光束的精度进行检查和校正。现有的检测光束校正方法可分为两类：talbot自我成像法和切割干预法。切割干预法具有高灵敏度和很强的抗干干扰性，因此得到了广泛应用。 双向剪切干涉法检校激光准直更具有简单、直观、准确度高和仪器调校方便等特点.但是,双向剪切干涉法在检校过程中需要对两个半场的条纹宽度或方向进行比较判断,采用目视直接观察的方法.由于激光亮度高,眼睛容易疲劳,更重要的是会引入人的主观判断误差.并且,目视直接观察不适用于非可见光的准直调整.本文研究了双向剪切干涉激光准直检校方法,利用CCD对于干涉条纹进行采集,并通过自相关比较条纹宽度来检校激光的准直性. 1 上下半场条纹特征 双向剪切激光准直检校系统的原理如图1.待准直激光束入射到楔形镜W上,光束被分成两部分:一部分是楔形镜前、后两表面的反射光,它们形成沿x轴正向的剪切,经反射镜M1后在CCD探测器上形成干涉条纹;另一部分是透射光,由反射镜M2反射后入射到楔形镜上,在其两表面发生反射,由于此时入射方向相反,将形成沿x轴负向的等量剪切,同时也在CCD探测器上形成干涉条纹.将反射镜M1的下(上)半部分和M2的上(下)半部分挡住,在CCD探测器上会形成上下两个半场的干涉条纹.调整遮挡的位置,使两个半场拼在一起,形成一个整场.当入射激光的发散角改变时,上下两个半场的条纹宽度或方向会以相反的趋势变化. 本系统将楔形镜的楔棱调整为与剪切方向垂直,得到的两个半场的干涉条纹都是竖直方向的直条纹.当入射激光发散角为零时,上下两半场的条纹宽度相等;当发散角不为零时,条纹宽度会不同.用CCD对干涉条纹进行实时采集,送入计算机进行数据处理,通过一定的算法提取上下半场条纹宽度,并直观、实时地显示出条纹宽度差值信息.通过判断此差值是否为零,就可检查出入射到楔形镜的激光是否准直;若激光不准直,则调整,同时观察计算机显示的条纹宽度信息,直到两半场条纹宽度相等,调整结束.这就完成了激光准直的检校. 另外,对不可见光的检校,必须选用相应波段材料的楔形镜和CCD探测器. 在双向剪切激光准直检校系统中,如何准确提取上下两半场条纹宽度,并直观的显示出两半场的条纹宽度差值信息是一个关键的问题.本文采用自相关的方法,很好地解决了这一问题. 2 关于srhm的自相关函数 CCD采集的条纹图像信息送到计算机后,采用如下方法进行处理:以检校过程中采集到的任一帧图像(图2)为例,在上下两半场各作一条垂直于条纹方向的横向扫描线(为处理方便,两条扫描线可取等长),提取扫描线上每一像素点的灰度值,构造灰度值关于像素点位置的函数h1(n)和h2(n),也就是扫描线上各像素点的灰度分布函数. 函数h1(n)和h2(n)分别包含了两半场条纹的宽度和周期信息(如图3).但由于采集的条纹并非绝对规则,且存在噪音,直接比较很困难. 设灰度分布函数h(n)中所包含的周期信号为 s(n),随机噪音为a(n),条纹宽度为d,即有:s(n)=s(n+d) h(n)=s(n)+a(n) (1) 周期函数s(n)的自相关函数rs(m)为 rs(m)=∑n=?∞∞=∑n=-∞∞s(n)s(n+m)=∑n=?∞∞∑n=-∞∞s(n) s(n+m+d)=rs(m+d) (2) 上式说明rs(m)与s(n)具有同样的周期d.由式(1)得h(n)的自相关函数为 rh(m)=∑n=?∞∞=∑n=-∞∞[s(n)+a(n)][s(n+m)+a(n+m)]= ∑n=?∞∞∑n=-∞∞[s(n)s(n+m)+s(n)a(n+m)+a(n) s(n+m)+a(n)a(n+m)]=rs(m)+ rsa(m)+ras(m)+ra(m) (3) 其中,rsa(m)、ras(m)是s(n)和a(n)的互相关函数,ra(m)是a(n)的自相关函数.因为噪声a(n)是随机的,所以s(n)和a(n)没有相关性,rsa(m)和ras(m)的值很小,可以忽略,即 rh(m)≈rs(m)+ra(m) (4) 又因为ra(m)的值主要集中在m=0处,在|m|0时的值很小,而rs(m)的周期为d,且由自相关函数的性质,rs(m)在m=0、±d、±2d…时取得 最大值,所以rh(m)也将以d为周期在m=0、±d、±2d…处出现峰值.但灰度分布函数h(n)的长度有限性将导致rh(m)的峰值是依次衰减的. 基于以上分析,对两灰度分布函数h1(n)和h2(n)分别作自相关,得到其自相关函数分别为rh1(m)和rh2(m);再对rh1(m)和rh2(m)作归一化处理,得到如图4的两条曲线. 图中rh1(m)、rh2(m)各自