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多层复合ITO薄膜的制备及其光电性能的研究.pdf

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    Abstract

    摘要

    氧化铟锡(ITO)薄膜作为一种n型简并透明导电氧化物薄膜，具有良好的光

    电性能，广泛应用于平板显示器、发光器件、太阳能电池等领域。现今，随着高

    清、大尺寸触控面板等的需求，ITO薄膜在需要保证可见光透过率的基础上电阻

    率进一步降低，以满足实际应用需求。但可见ITO薄膜的导电性能和光学性能之

    间是矛盾的。为了调节两者之间的矛盾以提高薄膜的品质因数，本实验采用磁控

    溅射和溶胶凝胶两种方式制备了IT

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