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《薄膜材料与器件》教学大纲

适用范围：202X版本科人才培养方案

课程代码课程性质：专业选修课

学分：2学分

学时：32学时（理论32学时）

先修课程：高等数学、无机化学、有机化学A、现代材料分析方法等

后续课程：电镀工艺学、腐蚀与防护等

适用专业：新能源材料与器件专业

开课单位：材料科学与工程学院

一、课程说明

《薄膜材料与器件》是新能源材料与器件专业本科学生的专业平台选修课。通过本课程的学习使学生了解薄膜制备的真空技术，薄膜制备的物理、化学方法，薄膜制备中的相关技术，薄膜形成、生长的原理等内容涉及的基本理论、基本知识和基本技能，同时，对目前广泛研究和应用的几种薄膜进行介绍。课程在保证教学科学性和系统性的前提下，着重突出薄膜材料及其技术的实用性，从而为培养“厚基础、宽口径、高素质、强能力”的应用型专业技术人才奠定基础。

二、课程目标

通过本课程的学习，使学生达到如下目标：

课程目标1：通过学习薄膜材料与器件理论知识，掌握薄膜材料的合成、制备、结构与性能。结合数学知识、物理知识、工程知识和新能源专业知识综合运用于新能源复杂系统或装置的分析与设计；在课程教学中，通过课外资料和课堂讨论，对多种薄膜材料的研究及应用有较系统的认识。同时，在学习过程中使学生坚定正确的政治方向，树立科学的世界观、人生观和价值观。

课程目标2：在专业领域里，要求学生对多种功能薄膜的生长机制、过程和方法有一定的了解，在熟悉薄膜基本生长工艺的基础上，对迅速发展的薄膜技术有较完整的认识，并在上述过程中获得解决实际科学、工程、技术问题的能力；并在此过程中使学生获得一定的创新意识、工作适应能力和材料分析测试的综合运用能力，从而，具有较强的自学能力，以获取新知识适应学科、行业发展的能力并具有良好的心理素质、较高的人文科学素养和劳动精神，树立正确的审美观和劳动观，进而具备良好的社会公德和职业道德、较强的社会责任感和团队合作精神。

三、课程目标与毕业要求

《薄膜材料与器件》课程教学目标对新能源材料与器件专业毕业要求的支撑见表1。

表1课程教学目标与毕业要求关系

毕业要求

指标点

课程目标

支撑

强度

1.工程知识

1.3能够将专业知识和数学模型方法用于推演、分析薄膜材料与器件领域问题并对解决方案进行比较与综合。

课程目标1：通过学习薄膜材料与器件理论知识，掌握薄膜材料的合成、制备、结构与性能。综合运用新能源复杂系统或装置的分析与设计对多种薄膜材料的研究及应用有较系统的认识。

H

2.问题分析

2.2能通过文献研究分析，发现新能源产生、转化和存储过程中的过程中的复杂工程问题，获得有效结论并能提出有效的解决。

课程目标2：使学生具有运用薄膜材料与器件的基础知识、基本技能分析、解决实际科学、工程、技术问题的能力及创新意识，具备自主学习薄膜材料与器件领域新知识的能力，获取适应学科、行业发展的能力并具有良好的心理素质、较高的人文科学素养和劳动精神。

M

注：表中“H（高）、M（中）”表示课程与相关毕业要求的关联度。

四、教学内容、基本要求与学时分配

理论部分的教学内容、基本要求与学时分配见表2。

表2教学内容、基本要求与学时分配

教学内容

教学要求，教学重点难点

理论学时

对应的课程目标

1.真空技术基础

1.1真空基础

1.2稀薄气体的性质

1.3真空的获得

1.4真空的测量

教学要求：使学生了解真空的基本知识；掌握常用真空获得及原理；掌握常用真空测量基本装置的原理。

重点:真空系统的流导；机械泵、扩散泵、冷凝泵等真空泵的结构、工作原理及特点。

难点:热偶式真空计、电离式真空计、隔膜式真空计等真空计的结构、工作原理及特点。

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2.薄膜的物理制备工艺学

2.1薄膜制备方法概论

2.2真空蒸发镀膜

2.3溅射镀膜

2.4离子束镀膜

2.5分子束外延技术

2.6脉冲激光沉积技术

教学要求：理解并掌握物理气相沉积；真空蒸发法特点；理解并掌握薄膜蒸发沉积装置；薄膜蒸发沉积条件；掌握真空对薄膜质量的影响；镀料的蒸发；蒸发源。理解并掌握气体放电现象与等离子体；溅射法制备薄膜的物理过程；离子镀；反应蒸发沉积；离子束沉积等。

重点：真空蒸发法原理及特点，气体放电对薄膜制备的重要影响；溅射方法制备薄膜材料的原理、特征和装置系统。

难点：多种蒸发源的原理、结构特点及应用特征；镀料的蒸发原理及过程；离子镀方法制备薄膜材料的原理、特征；离子束沉积薄膜材料的原理、特征。

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3.薄膜的化学制备工艺学

3.1概述

3.2化学气相沉积简介

3.3薄膜的化学溶液制备技术

3.4薄膜的软溶液制备技术

3.5超薄有机薄膜的LB制备技术

教学要求：了解各种用于薄膜制备的化学方法，包括其基本原理和相关设备；掌握化学气