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化学气相淀积工职业健康操作规程

文件名称：化学气相淀积工职业健康操作规程

编制部门：

综合办公室

编制时间：

2025年

类别：

两级管理标准

编号：

审核人：

版本记录：第一版

批准人：

一、总则

本规程适用于化学气相淀积（CVD）工的日常操作，旨在确保操作人员的安全健康，预防事故发生。规程要求操作人员严格遵守国家相关法律法规，遵循本规程各项要求，确保CVD设备安全运行。规程内容涵盖设备操作、化学品管理、个人防护等方面，适用于所有从事CVD工作的员工。

二、操作前的准备

1.个人防护：

a.操作前，必须穿戴符合规定的防护服、手套、护目镜和防尘口罩。

b.长发应束起或佩戴安全帽，避免头发接触化学品或设备。

c.操作过程中，如需进入有毒性气体的区域，应佩戴适当的呼吸器。

2.设备状态确认：

a.检查CVD设备外观是否有损坏，如裂纹、泄漏等。

b.确认设备电源、气源、真空系统等是否正常，确保无安全隐患。

c.检查设备运行参数是否设置正确，如温度、压力、流量等。

3.环境检查：

a.检查操作区域是否存在易燃、易爆物品，如化学品、油污等。

b.确认通风系统是否正常工作，确保有害气体和颗粒物排放符合国家标准。

c.检查紧急疏散通道是否畅通，确保紧急情况下的安全疏散。

4.工艺参数设置：

a.根据生产要求，设定CVD工艺参数，如沉积温度、气体流量、反应时间等。

b.检查工艺参数是否符合设备技术规格和操作规程要求。

5.化学品管理：

a.检查化学品储存区域是否安全，标识是否清晰，分类存放是否合理。

b.根据操作需要，准备所需化学品，确保化学品在有效期内。

c.操作前，了解化学品的性质、危害和应急处置方法。

6.操作培训：

a.确认操作人员已接受CVD设备操作培训，并具备相应操作技能。

b.复习操作规程和应急预案，确保操作人员熟悉应急处理流程。

7.检查记录：

a.对操作前的各项准备工作进行记录，包括设备检查、环境检查、参数设置等。

b.确保所有检查项目均符合规程要求，记录完整、准确。

三、操作的先后顺序、方式

1.操作顺序：

a.打开CVD设备电源，进行自检，确保设备无故障。

b.启动真空系统，逐步抽真空至设定值，确保系统密封性良好。

c.根据工艺要求，依次开启气源，调节气体流量至规定值。

d.设定并启动CVD设备，开始沉积过程。

e.沉积完成后，关闭气源，保持真空状态，逐步释放真空。

f.关闭CVD设备电源，结束操作。

2.作业方式：

a.操作过程中，严格遵守一人一机原则，不得多人共用一台设备。

b.操作人员应站在设备侧面，避免身体直接暴露在反应区域。

c.使用遥控或自动控制系统进行操作，减少直接接触风险。

d.观察设备运行状态，注意观察仪表数据，确保工艺参数稳定。

3.异常处置：

a.若发现设备故障，立即停止操作，切断电源，隔离故障设备。

b.根据故障现象，查找原因，如需维修，联系专业人员进行处理。

c.若发生紧急情况，如火灾、泄漏等，立即启动应急预案，按照规定程序进行处置。

d.在处理异常情况时，操作人员必须佩戴适当的防护用品，确保自身安全。

e.处理完毕后，详细记录异常情况及处理过程，分析原因，制定预防措施。

4.安全注意事项：

a.操作过程中，禁止无关人员进入操作区域。

b.遇有设备报警或异常响声，应立即停止操作，检查原因。

c.不得在设备运行时进行清洁、维护或调整。

d.操作人员应熟悉紧急疏散路线和设备，确保在紧急情况下能够迅速撤离。

5.记录与报告：

a.操作完成后，记录操作过程、设备运行数据、异常情况等。

b.如发现异常情况或安全隐患，及时向上级报告，并采取措施予以整改。

四、操作过程中设备的状态

1.正常状态指标：

a.设备运行稳定，无异常震动和噪音。

b.温度、压力、流量等工艺参数在设定范围内波动，且稳定不变。

c.真空度达到并维持在设计要求范围内。

d.供气系统正常，气体纯度符合工艺要求。

e.电气系统无异常，无过载、短路等现象。

f.设备表面无异常腐蚀、泄漏等迹象。

2.异常现象识别：

a.设备出现不正常的震动、噪音或异味。

b.工艺参数出现大幅度波动或超出设定范围。

c.真空度下降或无法达到设定值。

d.供气系统压力异常，气体纯度不符合要求。

e.电气系统出现故障，如过载、短路、断路等。

f.设备表面出现腐蚀、泄漏、裂纹等现象。

3.状态监测方法：

a.通过设备上的仪表实时监控各项工艺参数，如温度、压力、流量等。

b.观察设备外观，检查设备是否存在异常腐蚀、泄漏等迹象。

c.定期检查电气系统，确保无过载、短路等安全隐患。