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半导体厂房工程监理协议

甲方（建设单位）：

名称：_________

地址：_________

法定代表人：_________

联系方式：_________

统一社会信用代码：_________

乙方（监理单位）：

名称：_________

地址：_________

法定代表人：_________

联系方式：_________

统一社会信用代码：_________

资质等级：电子工程监理甲级（或半导体洁净厂房专项监理资质）

资质证书编号：_________

鉴于条款

1.甲方系[项目全称，如：XX半导体12英寸晶圆制造厂房一期工程]（以下简称“本工程”）的建设单位，已取得本工程立项批准文件（文号：_________）；

2.乙方具备承接本工程监理服务的合法资质及半导体洁净厂房、工艺设备安装监理的专业经验；

3.双方遵循平等、自愿、公平及诚实信用原则，就本工程监理服务达成如下协议。

第一条工程概况

1.1工程地点：_________

1.2工程规模：总建筑面积_________㎡，其中洁净室面积_________㎡（含Class10/100/1000/10000洁净等级区域）；包含光刻、刻蚀、沉积、离子注入等工艺设备安装调试，以及高纯气体、超纯水、废水/废气处理、电力自控等配套系统；

1.3资金来源：_________（自筹/银行贷款/政府补贴等）；

1.4计划工期：总工期_________日历天，关键节点：洁净室装修完成_________年____月____日、工艺设备安装完成_________年____月____日、竣工验收合格_________年____月____日。

第二条监理范围

本工程监理范围覆盖全生命周期，具体包括：

2.1前期准备阶段：施工图（含洁净室、工艺系统、设备安装图）审查、施工组织设计/专项方案（洁净室密封、高纯管道安装、ESD防护等）审批、施工单位资质复核；

2.2施工阶段：

-土建结构（厂房主体、设备基础）；

-洁净室工程（彩钢板装修、防静电地面/墙面、吊顶密封、回风/排风系统）；

-工艺配套系统（高纯气体管道、超纯水系统、废水/废气处理、电力配电/自控系统）；

-工艺设备安装调试（光刻机、刻蚀机、沉积设备等关键设备的定位、精度校准、联动测试）；

-辅助设施（空调净化、消防、安防、物流传递系统）；

2.3竣工验收阶段：分项/分部/单位工程验收、竣工资料审核、竣工验收组织及资料归档；

2.4缺陷责任期：自竣工验收合格之日起12个月（关键工艺设备缺陷责任期延长至24个月），含质量缺陷排查、整改监督。

第三条监理服务内容

3.1质量控制：

-原材料/构配件检验（洁净彩钢板、防静电材料、高纯管道/管件等需100%抽样检测）；

-工序验收（洁净室地面自流平平整度、彩钢板密封完整性、高纯管道焊接质量、设备安装水平度/垂直度）；

-专项检测（洁净度（尘埃粒子数、微生物）、ESD接地电阻、高纯气体纯度、设备联动精度）；

-质量事故处理（事故调查、原因分析、整改方案审核）；

3.2进度控制：

-施工进度计划审核（含关键节点分解）；

-进度偏差预警（偏差超过计划5%时24小时内提交调整建议）；

-工期延误责任认定（区分甲方、施工单位、不可抗力原因）；

3.3投资控制：

-工程量计量审核（每月25日前完成当月工程量确认）；

-工程变更价款审核（变更金额超过____万元需甲方书面确认）；

-索赔/反索赔审核（协助甲方核算索赔金额及合理性）；

3.4安全文明施工监理：

-安全方案审批（含化学品储存/使用防护、洁净室防火、特种设备（起重机）检测）；

-现场安全巡查（每日不少于1次，重点检查洁净室污染防控、高空作业防护）；

-安全事故报告（发生一般及以上事故1小时内书面报甲方及主管部门）；

3.5合同管理：

-协助甲方审核施工、设备采购合同（重点关注工艺要求、验收标准、违约责任）；

-跟踪合同履行（设备到货时间、施工节点履约情况）；

3.6信息管理：

-每日监理日志、每周监理周报（含进度、质量、安全情况）、每月监理月报；

-工程资料归档（协助甲方整理竣工资料，符合档案管理要求）；

3.7协调管理：

-协调施工单位、设计单位、设备供应商的衔接（如工艺与土建接口、设备安装与系统联动）；

-组织专题会议（解决重大技术/进度问题，形成会议纪要）。

第四条甲方权责

4.1提供资料：本协议生效后7日内，向乙方提供项目批文、全套施工图、地质勘察报告、设备技术规范、洁净室标准要求等；

4.2支付监理费：按本协议第七条约定按时足额支付；

4.3协调决策：协调设计单位交底、设备供应商到场时间，对乙方提交的审批事项（如工程变更、进度款支付）在5个工作日内书面答复；

4.4工作条件：提供现场办公场所（含水电）、必要的检测设备借用（如甲方自有尘埃粒子计数器