制造工艺仿真：沉积仿真_（1）.制造工艺仿真基础.docx

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制造工艺仿真基础

1.制造工艺仿真概述

1.1什么是制造工艺仿真

制造工艺仿真是通过计算机模拟技术，对制造过程中的各种工艺步骤进行仿真模拟，以预测和优化工艺过程中的性能和结果。在电子科学与技术领域，特别是集成电路设计与集成系统中，制造工艺仿真具有重要的应用价值。通过仿真，工程师可以提前识别和解决工艺中的问题，减少实际制造中的试验次数，提高产品的良率和性能。

1.2制造工艺仿真的重要性

制造工艺仿真在集成电路设计与制造中起到关键作用。首先，它可以帮助工程师在设计阶段就预测工艺过程中的各种物理和化学现象，从而优化设计。其次，通过仿真可以减少实际制造中的