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集成电路制造工艺 课件 5.3 扩散的质量参数与检测.pptx

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    集成电路制造工艺

    --扩散的质量参数与检测;;;§5.3扩散层的质量参数和检测;;利用长直导体电阻的公式计算公式;方块电阻的物理意义：方块电阻反映了单位面积扩散进去的杂质总量，扩散的杂质越多，越小。反之，越大。所以可以通过测方块电阻来检测扩散进去的单位面积的杂质量。;电位差计;;四探针法测方块电阻的注意事项：

    检流计的指针为零偏，只测2，3两根探针之间的电压，而不能有电流通过。为什么？？;;恒定源

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