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配方大尺寸硅片金刚线切割液
原料配比
原料
配比(质量份)
1#
2#
3#
4#
5#
6#
7#
增溶剂
聚乙二醇
15
10
—
—
—
—
—
丙二醇
—
—
12
20
—
—
—
异己二醇
—
—
—
—
3
—
6
二乙二醇
—
—
—
—
4
10
—
表面活性剂
烷基酚聚氧乙烯醚
25
—
—
—
5
—
—
烯丙醇聚氧烷基醚
—
30
—
—
—
—
—
六碳至八碳脂肪醇聚氧乙烯聚氧丙烯醚
—
—
30
25
—
—
25
丙二醇聚氧乙烯聚氧丙烯醚
—
—
—
—
25
25
—
十碳
至十二碳脂肪醇聚氧乙烯醚
—
—
—
—
—
—
5
消泡剂
炔二醇聚醚
12
—
13
—
—
—
—
十二碳炔二醇
—
15
—
15
15
18
10
GPE型聚氧乙烯聚氧丙烯甘油醚
1.5
—
1.5
—
—
—
2.5
GP型甘油聚醚
—
1.5
—
—
3
2
—
GPES型硬脂酸酯聚氧乙烯聚氧丙烯甘油醚
—
—
—
3
—
—
1.5
渗透剂
异构十三醇聚氧乙烯醚
10
—
14
—
—
—
—
异辛醇聚氧乙烯醚磷酸酯
—
12
—
12
15
—
—
异构十醇
聚氧乙烯醚
—
—
—
—
—
—
10
乳化剂
失水山梨醇单油酸酯
2
2
5
—
—
—
—
单甘油脂肪酸甘油酯
—
—
1
—
3
—
2
蔗糖硬脂酸酯、油酸酯、异丁酸酯中的一种或多种复配物
—
—
—
3
—
—
—
聚氧乙烯山梨醇酐单硬脂酸酯
5
3
—
—
—
—
—
分散剂
丙烯酸均聚物
0.5
0.5
—
—
—
—
—
膦酰基羧酸共聚物
—
—
0.5
0.2
—
—
—
萘磺酸盐甲醛缩合物
—
—
—
0.2
—
—
—
丙烯酸磺酸共聚物
—
—
—
—
2
l
2
防锈剂
甲基苯并三氮唑
0.5
0.5
0.5
0.5
0.5
0.5
0.5
杀菌剂
十二烷基三甲基氯化铵
1
1
1
1
1.5
1.5
1.5
去离子水
加至100
加至100
加至100
加至100
加至100
加至100
加至100
制备方法将各组分原料依次加入搅拌釜中,搅拌20分钟,再加入余量的去离子水,混合搅拌60分钟,得到大尺寸硅片金刚线切割液。
原料配伍
所述表面活性剂为一元醇和/或多元醇聚醚;所述一元醇和/或多元醇聚醚为烷基酚聚氧乙烯聚氧丙烯醚、丙二醇聚氧乙烯聚氧丙烯醚、烯丙基聚氧乙烯聚氧丙烯醚、烯丙醇聚氧烷基醚、六碳至十二碳脂肪醇聚氧乙烯聚氧丙烯醚中的一种或多种复配物;其中六碳至十二碳指的是脂肪醇链中的碳原子数。
所述渗透剂为异辛醇聚氧乙烯醚、异构十醇聚氧乙烯醚、异构十三醇聚氧乙烯醚、异辛醇聚氧乙烯醚磷酸酯、异构十醇聚氧乙烯醚磷酸酯、异构十三醇聚氧乙烯醚磷酸酯的一种或几种复配物;
所述消泡剂为十二碳炔二醇聚醚、双子型有机硅聚醚、GP型甘油聚醚,GPE型聚氧乙烯聚氧丙烯甘油醚或GPES型硬脂酸酯聚氧乙烯聚氧丙烯甘油醚中的一种或几种;其中GP型甘油聚醚,GPE型聚氧乙烯聚氧丙烯甘油醚或GPES型硬脂酸酯聚氧乙烯聚氧丙烯甘油醚为聚醚消泡剂。
所述增溶剂为二元醇和/或多元醇;所述二元醇和/或多元醇为乙二醇、丙二醇、聚乙二醇、聚丙二醇、二乙二醇、异己二醇中的一种或几种复配物;
所述乳化剂为脂肪醇聚氧乙烯缩合物和/或脂肪酸多元醇酯;
所述分散剂为丙烯酸均聚物、膦酰基羧酸共聚物、萘磺酸盐甲醛缩合物、丙烯酸磺酸共聚物中的一种或多种复配物。
所述脂肪醇聚氧乙烯缩合物为六碳至十五碳直链烷醇聚氧乙烯醚,脂肪酸多元醇酯为失水山梨醇单油酸酯、聚氧乙烯山梨醇酐单硬脂酸酯、单甘油脂肪酸甘油酯、蔗糖脂肪酸酯中的一种或几种复配物,所述蔗糖脂肪酸酯为蔗糖硬脂酸酯、油酸酯、异丁酸酯中的一种或多种复配物。
所述硅片切割液还包括防锈剂,所述防锈剂为油酸三乙醇胺、磺化油、甲基苯并三氮唑或异丙基苯并三氮唑中的一种或几种,以所述硅片切割液的总质量为100份计,所述防锈剂的添加量为0.1~5份。
所述硅片切割液还包括杀菌剂,所述杀菌剂为季铵盐类、唑啉类杀菌剂、十二烷基三甲基氯化铵中的一种或多种复配物,以所述硅片切割液的总质量为100份计,所述杀菌剂的添加量0.01~3份。
产品应用本品主要是一种大尺寸硅片金刚线切割液。
产品特性
(1)所述表面活性剂一元醇或多元醇聚醚具有优良的润滑性、渗透性,同时兼具分散、冷却、清洗的优势,因与同为聚醚型的渗透剂、消泡剂具有更多相同的官能团,故而易于互溶、复配,复配后功效超过各自之和,进一步提高渗透能力,抑制泡沫生成。异构醇聚氧乙烯醚具有优异的渗透性、溶水性,因与上述脂肪醇聚氧乙烯聚氧丙烯醚具有更多相同的官能团,复配后与上述聚醚形成分子级互溶,结合紧密,故而可以进一步增加脂肪醇聚氧乙烯聚氧丙烯醚的渗透性和分散性,使硅片切割液可以快速渗透至硅
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