CN110058052B 惯性传感器及其制造方法 （杭州士兰微电子股份有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN110058052B(45)授权公告日2025.01.10

(21)申请号201910261957.4

(22)申请日2019.04.02

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN110058052A

(43)申请公布日2019.07.26

(56)对比文件

CN210222061U,2020.03.31

CN104569491A,2015.04.29

US2013319117A1,2013.12.05CN105158511A,2015.12.16

审查员张硕

(73)专利权人杭州士兰微电子股份有限公司地址310012浙江省杭州市黄姑山路4号

(72)发明人汪建平邓登峰

(74)专利代理机构北京成创同维知识产权代理

有限公司11449专利代理师蔡纯李向英

(51)Int.CI.

G01P15/125(2006.01)

G01P15/18(2013.01)

权利要求书3页说明书11页附图8页

(54)发明名称

惯性传感器及其制造方法

(57)摘要

CN110058052B本申请公开了一种惯性传感器及其制造方法，包括：衬底；第一可动质量块，位于衬底上方；第二可动质量块，位于第一可动质量块上方；以及设置于第一可动质量块上的检测电极，该检测电极与第二可动质量块形成检测电容，在外界出现加速度时检测电容的电容变化差值是相同面积下的单层可动质量块的惯性传感器的电容变

CN110058052B

CN110058052B权利要求书1/3页

2

1.一种惯性传感器，包括：

衬底；

第一可动质量块，位于所述衬底上方；

第二可动质量块，位于所述第一可动质量块上方；以及

设置于所述第一可动质量块上的检测电极，所述检测电极与所述第二可动质量块形成检测电容，

其中，所述惯性传感器还包括：第一锚点、第二锚点、沿第一方向延伸的至少一个第一弹性元件和第二弹性元件以及位于所述衬底上的布线层，其中所述第一弹性元件用于连接所述第一锚点和所述第一可动质量块，所述第二弹性元件用于连接所述第二锚点和所述第二可动质量块，所述第一锚点和所述第二锚点固定于所述布线层上。

2.根据权利要求1所述的惯性传感器，其特征在于，所述第一锚点和所述第二锚点沿所述第一方向平行设置。

3.根据权利要求1所述的惯性传感器，其特征在于，所述第一锚点和所述第二锚点沿与所述第一方向垂直的第二方向平行设置。

4.根据权利要求2或3所述的惯性传感器，所述第一弹性元件的长度方向与所述第一锚点的中线重合，所述第二弹性元件的长度方向与所述第二锚点的中线重合。

5.根据权利要求1所述的惯性传感器，其中，所述第一可动质量块位于所述第一弹性元件的两侧的质量不相等，所述第二可动质量块位于所述第二弹性元件的两侧的质量不相等。

6.根据权利要求5所述的惯性传感器，其中，所述第一可动质量块位于所述第一弹性元件左侧的质量等于所述第二可动质量块位于所述第二弹性元件左侧的质量，或者

所述第一可动质量块位于所述第一弹性元件右侧的质量等于所述第二可动质量块位于所述第二弹性元件右侧的质量。

7.根据权利要求5所述的惯性传感器，其中，所述第一可动质量块关于所述第一弹性元件非对称设置，所述第二可动质量块关于所述第二弹性元件非对称设置。

8.根据权利要求5-7任一项所述的惯性传感器，其中，每个所述第一可动质量块和所述第二可动质量块的至少一侧设置有减重孔。

9.根据权利要求5-7任一项所述的惯性传感器，其中，每个所述第一可动质量块和所述第二可动质量块的至少一侧设置有配重块。

10.根据权利要求8所述的惯性传感器，其中，所述减重孔包括通孔和/或盲孔。

11.根据权利要求1所述的惯性传感器，其中，所述检测电极至少包括第一检测电极和第二检测电极，

所述第二可动质量块与所述第一检测电极和所述第二检测电极分别形成第一检测电容和第二检测电容，所述第一检测电容和所述第二检测电容构成差分电容结构。

12.根据权利要求11所述的惯性传感器，其特征在于，所述第一检测电极和所述第二检测电极关于所述第一锚点和/或所述第二锚点的中线对称。

13.根据权利要求1所述的惯性传感器，其中，还包括位于所述检测电极与所述第一可动质量块之间的绝缘层。

14.根据权利要求1所述的惯性传感器，其特征在于，所述第一可动质量块和所述第二

CN11