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硫系化合物相变材料化学机械抛光的纳米抛光液.doc

硫系化合物相变材料化学机械抛光的纳米抛光液.doc

    硫系化合物相变材料化学机械抛光的纳米抛光液

    原料配比

    原料

    配比（质量份）

    1#

    2#

    3#

    4#

    5#

    6#

    7#

    研

    磨

    料

    10~30nm纳米的二氧化硅

    20

    5

    5

    5

    －

    5

    5

    120nm纳米二氧化钛

    －

    －

    2

    －

    －

    2

    －

    40nm纳米二氧化钛

    －

    4

    －

    －

    －

    －

    －

    80nm纳米氧化铝

    －

    －

    －

    2

    －

    －

    2

    氧

    化

    剂

    H2O2

    －

    －

    3

    1

    －

    2

    －

    过氧化氢脲

    －

    10

    －

    5

    －

    －

    7

    过氧化氢

    6

    －

    －

    －

    －

    －

    －

    过硫酸铵

    －

    －

    －

    －

    4

    1

    －

    螯

    合

    剂

    乙二胺四乙酸铵

    －

    0.5

    2

    －

    －

    －

    －

    羟乙基乙二胺四乙酸铵

    0.3

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