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硫系相变材料化学机械抛光的无磨料抛光液.doc

硫系相变材料化学机械抛光的无磨料抛光液.doc

    硫系相变材料化学机械抛光的无磨料抛光液

    原料配比

    原料

    配比（质量份）

    1#

    2#

    3#

    4#

    5#

    6#

    7#

    氧

    化

    剂

    H2O2

    －

    －

    3

    1

    －

    2

    －

    过氧化氢脲

    －

    10

    －

    5

    －

    －

    15

    过氧化氢

    6

    －

    －

    －

    －

    －

    －

    过硫酸铵

    －

    －

    －

    －

    4

    1

    －

    螯

    合

    剂

    乙二胺四乙酸铵

    0.3

    0.5

    2

    －

    －

    －

    －

    羟乙基乙二胺四乙酸铵

    －

    －

    －

    1

    －

    0.5

    0.5

    柠檬酸铵

    －

    －

    －

    －

    3

    －

    表

    面

    活

    性

    剂

    十六烷基三甲基溴化铵

    －

    0.1

    0.2

    －

    －

    0.1

    0.1

    十二烷基醇聚氧乙烯基醚

    0.2

    0.1

    －

    0.3

    －

    0.1

    0.1

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