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纳米级蓝宝石衬底加工专用抛光液.doc

纳米级蓝宝石衬底加工专用抛光液.doc

    纳米级蓝宝石衬底的加工专用抛光液

    原料配比

    原料

    配比（质量份）

    1#

    2#

    纳米硅粉

    20

    23

    乙二醇

    13

    10

    甘油

    4

    3.5

    乙醇氨

    0.2

    0.3

    去离子水

    62.8

    63.2

    制备方法将各组分溶于水混合均匀即可。

    原料配伍本品各组分质量份配比范围为：纳米硅粉20~25、乙二醇8~15、甘油3~5、乙醇氨0.1~0.3、去离子水60~65。

    产品应用本品为蓝宝石衬底的加工专用抛光液。

    蓝宝石衬底的加工步骤如下：

    （1）wafer片粘片，根据蓝宝石衬底的特点，利用粘片设备将其长有器件的一面粘贴在玻璃片上，以便于研磨时真空吸附在磨头上，保证芯片粘接的稳定性；

    （2）粗

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