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用于钽阻挡抛光的化学机械的抛光液.doc

用于钽阻挡抛光的化学机械的抛光液.doc

    用于钽阻挡抛光的化学机械的抛光液

    原料配比

    原料

    配比（质量份）

    1#

    2#

    3#

    4#

    5#

    6#

    7#

    8#

    研磨颗粒

    SiO2(100nm)

    7

    7

    10

    7

    7

    7

    1

    －

    Al2O3(20nm)

    －

    －

    －

    －

    －

    －

    －

    2

    金属缓蚀剂

    苯并三氮唑

    0.15

    0.15

    0.15

    0.15

    0.2

    0.2

    0.5

    －

    3-氨基-1,2,4-三氮唑

    ―

    －

    －

    －

    －

    0.005

    －

    －

    甲基苯并三氮唑

    －

    －

    －

    －

    －

    －

    －

    1

    有机酸

    丙二酸

    0.2

    0.2

    0.2

    －

    －

    0.2

    1

    －

    甘氨酸

    －

    －

    －

    0.2

    －

    －

    －

    －

    2-膦酸丁烷基-1,2,4-三羧酸

    －

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