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用于铜制程的化学机械抛光液1.doc

用于铜制程的化学机械抛光液1.doc

    用于铜制程的化学机械抛光液

    原料配比

    原料

    配比（质量份）

    1#

    2#

    3#

    4#

    5#

    6#

    7#

    8#

    研磨颗粒

    SiO2（70nm）

    2

    －

    －

    －

    －

    －

    2

    －

    SiO2（20nm）

    －

    －

    －

    －

    －

    －

    －

    0.1

    Al2O3（30nm）

    －

    5

    －

    －

    －

    －

    －

    －

    Al2O3（100nm）

    －

    －

    0.5

    －

    －

    －

    －

    －

    聚苯乙烯（分子量400000）（120nm）

    －

    －

    －

    0.3

    －

    －

    －

    －

    聚苯乙烯（分子量500000）（100nm）

    －

    －

    －

    －

    －

    10

    －

    －

    聚乙烯（分子量200000）（200nm）

    －

    －

    －

    －

    2

    －

    －

    －

    有机酸

    甘

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