原创力文档阻挡层化学机械抛光液
原料配比
原料
配比（质量份）
1#
2#
3#
4#
5#
6#
7#
8#
9#
10#
11#
研
磨
颗
粒
SiO2(70nm)
20
－
－
－
－
－
－
－
－
－
10
Al2O3(30nm)
－
10
－
－
－
－
－
－
－
－
－
CeO2(50nm)
－
－
2
－
－
－
－
－
－
－
－
TiO2(120nm)
－
－
－
1
－
－
－
－
－
－
－
覆盖铝的SiO2(70nm)
－
－
－
－
10
－
－
－
－
－
－
掺杂铝的SiO2(20nm)
－
－
－
－
－
15
－
－
－
－
－
聚甲基丙烯酸甲酯（150nm）
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