CN111006774A 测试采用mems工艺制作的定标黑体辐射源的系统和方法 （北京振兴计量测试研究所）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN111006774A

(43)申请公布日2020.04.14

(21)申请号201911244111.6

(22)申请日2019.12.06

(71)申请人北京振兴计量测试研究所

地址100074北京市丰台区云岗北区西里1

号院30号

(72)发明人张玉国孙红胜张鑫王加朋

吴柯萱李世伟杨旺林宋春晖

吴红霞孙广尉张林军

郭靖

(74)专利代理机构北京天达知识产权代理事务

所(普通合伙)11386代理人程虹

(51)Int.CI.

G01J5/52(2006.01)

G01J5/00(2006.01)

权利要求书2页说明书7页附图2页

(54)发明名称

测试采用MEMS工艺制作的定标黑体辐射源的系统和方法

(57)摘要

CN111006774A本说明书提供一种测试采用MEMS工艺加工的定标黑体辐射源寿命的系统和方法，系统包括真空试验装置和高低温箱；真空试验装置包括真空试验箱、第一载物台、制冷机构和红外成像测温仪；第一载物台设置在真空试验箱的真空腔内；第一载物台上设置有第一电源接口；制冷机构的制冷部件用于使真空试验箱维持特定的低温环境；真空试验箱的箱体上开设有测量窗口；红外成像测温仪在设置在测量窗口处；高低温箱包括箱体和用于承载待测试的定标黑体辐射源第二载物台；第二载物台上设置有第二电源接口。因为前述系统能够模拟在轨星体工作环境，

CN111006774A

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CN111006774A权利要求书1/2页

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1.一种测试采用MEMS工艺加工的定标黑体辐射源寿命的系统，其特征在于，包括真空试验装置和高低温箱；

所述真空试验装置包括真空试验箱、第一载物台、制冷机构和红外成像测温仪；所述第一载物台设置在所述真空试验箱的真空腔内，用于承载待测试的定标黑体辐射源；所述第一载物台上设置有与待测试的定标黑体辐射源供电的第一电源接口；所述制冷机构的制冷部件用于使所述真空试验箱维持特定的低温环境；

所述真空试验箱的箱体上开设有测量窗口；所述红外成像测温仪设置在所述测量窗口处，用于测量待测试的定标黑体辐射源的辐射特性；

所述高低温箱包括箱体和用于承载待测试的定标黑体辐射源第二载物台；所述第二载物台设置在所述箱体的内腔内；所述第二载物台上设置有与待测试的定标黑体辐射源供电的第二电源接口。

2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，

所述真空试验装置包括控制器和温度传感器；

所述温度传感器设置在所述真空试验箱的真空腔内，用于测试所述真空试验箱的温度；

所述控制器用于根据所述温度传感器测量的温度调整所述制冷机构的工作状态，使所述真空试验箱维持稳定的低温环境。

3.根据权利要求1或2所述的系统，其特征在于，

所述第一载物台包括位移驱动机构、多个第一承载部和与各个所述第一承载部配套的第一电源接口；各个所述第一承载部用于承载不同的待测试的定标黑体辐射源；位移驱动机构用于切换各个所述第一承载部至相对所述测量窗口特定位置；和/或，

所述第二载物台包括多个第二承载部和与各个所述第二承载部配套的第二电源接口；各个所述第二承载部分别用于承载不同的待测试的定标黑体辐射源。

4.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，

所述位移驱动机构为转动机构或者平移机构。

5.根据权利要求1或2所述的系统，其特征在于，

在承载待测试的定标黑体辐射源时，所述高低温箱的腔体内填充有惰性气体。

6.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述制冷机构采用循环液制冷。

7.一种测试采用MEMS工艺加工的定标黑体辐射源寿命的方法，其特征在于，采用如权利要求1-6任一项所述的测试采用MEMS工艺加工的定标黑体辐射源寿命的系统；所述方法包括：

对待测试的定标黑体辐射源进行循环测试；包括，将待测试的定标黑体辐射源放置在所述真空试验箱内，按照第一过程进行使用测试，并采用所述红外成像测温仪测量所述第一过程中的辐射信号；以及，将待测试的定标黑体辐射源放置在所述高低温箱内，按照第二过程进行测试；

分析所述红外成像测温仪检测的辐射信号，确定所述待测试的定标黑体辐射