CN111006774B 测试采用mems工艺制作的定标黑体辐射源的系统和方法 （北京振兴计量测试研究所）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(45)授权

(10)授权公告号CN111006774B公告日2021.05.07

(21)申请号201911244111.6

(22)申请日2019.12.06

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN111006774A

(43)申请公布日2020.04.14

(73)专利权人北京振兴计量测试研究所

地址100074北京市丰台区云岗北区西里1

号院30号

(72)发明人张玉国孙红胜张鑫王加朋吴柯萱李世伟杨旺林宋春晖邱超吴红霞孙广尉张林军

郭靖

(74)专利代理机构北京天达知识产权代理事务

(51)Int.CI.

G01J5/52(2006.01)

G01J5/00(2006.01)

(56)对比文件

CN104833429A,2015.08.12CN110006540A,2019.07.12CN107727237A,2018.02.23CN102981081A,2013.03.20CN110017900A,2019.07.16

JP特开平9-264794A,1997.10.07

审查员何洋

所(普通合伙)11386

代理人程虹

权利要求书2页说明书7页附图2页

(54)发明名称

测试采用MEMS工艺制作的定标黑体辐射源的系统和方法

(57)摘要

CN111006774B本说明书提供一种测试采用MEMS工艺加工的定标黑体辐射源寿命的系统和方法，系统包括真空试验装置和高低温箱；真空试验装置包括真空试验箱、第一载物台、制冷机构和红外成像测温仪；第一载物台设置在真空试验箱的真空腔内；第一载物台上设置有第一电源接口；制冷机构的制冷部件用于使真空试验箱维持特定的低温环境；真空试验箱的箱体上开设有测量窗口；红外成像测温仪在设置在测量窗口处；高低温箱包括箱体和用于承载待测试的定标黑体辐射源第二载物台；第二载物台上设置有第二电源接口。因为前述系统能够模拟在轨星体工作环境，

CN111006774B

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CN111006774B权利要求书1/2页

2

1.测试采用MEMS工艺制作的定标黑体辐射源的系统，其特征在于，包括真空试验装置和高低温箱；

所述真空试验装置包括真空试验箱、第一载物台、制冷机构和红外成像测温仪；所述第一载物台设置在所述真空试验箱的真空腔内，用于承载待测试的定标黑体辐射源；所述第一载物台上设置有与待测试的定标黑体辐射源供电的第一电源接口；所述制冷机构的制冷部件用于使所述真空试验箱维持特定的低温环境；

所述真空试验箱的箱体上开设有测量窗口；所述红外成像测温仪设置在所述测量窗口处，用于测量待测试的定标黑体辐射源的辐射特性；

所述高低温箱包括箱体和用于承载待测试的定标黑体辐射源第二载物台；所述第二载物台设置在所述箱体的内腔内；所述第二载物台上设置有与待测试的定标黑体辐射源供电的第二电源接口；

所述系统包括实现定标黑体辐射源在真空试验箱和高低温箱间转移的执行机构，并对待测试的定标黑体辐射源进行循环测试；其中，循环次数根据待测定标黑体辐射源的预定使用次数和冗余系数确定。

2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，

所述真空试验装置包括控制器和温度传感器；

所述温度传感器设置在所述真空试验箱的真空腔内，用于测试所述真空试验箱的温度；

所述控制器用于根据所述温度传感器测量的温度调整所述制冷机构的工作状态，使所述真空试验箱维持稳定的低温环境。

3.根据权利要求1或2所述的系统，其特征在于，

所述第一载物台包括位移驱动机构、多个第一承载部和与各个所述第一承载部配套的第一电源接口；各个所述第一承载部用于承载不同的待测试的定标黑体辐射源；位移驱动机构用于切换各个所述第一承载部至相对所述测量窗口特定位置；和/或，

所述第二载物台包括多个第二承载部和与各个所述第二承载部配套的第二电源接口；各个所述第二承载部分别用于承载不同的待测试的定标黑体辐射源。

4.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，

所述位移驱动机构为转动机构或者平移机构。

5.根据权利要求1或2所述的系统，其特征在于，

在