CN108957965B 一种复合材料相位板的飞秒激光双光子加工与制作方法 （上海理工大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(45)授权

(10)授权公告号CN108957965B公告日2020.10.30

(21)申请号201810915435.7

(22)申请日2018.08.13

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN108957965A

(43)申请公布日2018.12.07

(73)专利权人上海理工大学

审查员魏可嘉

地址200093上海市杨浦区军工路516号

(72)发明人文静陈磊余彬彬张大伟

(74)专利代理机构上海旭诚知识产权代理有限

公司31220代理人郑立

(51)Int.CI.

GO3F7/20(2006.01)

G11B7/0045(2006.01)

权利要求书1页说明书5页附图4页

(54)发明名称

一种复合材料相位板的飞秒激光双光子加工与制作方法

(57)摘要

CN108957965B本发明公开了一种复合材料相位板的加工制作方法。首先使用飞秒激光双光子吸收原理，在光刻胶内部逐点逐层进行固化形成螺旋状或双斜坡状光刻胶相位板，然后将光刻胶相位板内嵌在圆柱腔内部，灌入合适的透明介质液体，形成复合材料相位板。使用本发明的方法制得的复合材料的相位板，可以被应用于双光束超分辨光存储光路系统中，也可以被应用于受激发射损耗荧光显微系统(STED)中，起到调整光束相位分布

CN108957965B

CN108957965B权利要求书1/1页

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1.一种复合材料相位板的飞秒激光双光子加工与制作方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1:在三维位移台上固定基底；

步骤2:在所述基底上涂覆光刻胶；

步骤3:使用飞秒激光双光子吸收原理，在所述光刻胶内部逐点逐层进行固化，在加工结束后去掉未固化的光刻胶，形成光刻胶相位板；

步骤4:将所述光刻胶相位板内嵌于一个密封圆柱腔内，所述圆柱腔的上端、下端各包括一个可开启的端口；

步骤5:封闭所述圆柱腔的下端口，打开所述圆柱腔的上端口，并从所述上端口灌入折射率匹配液或者折射率可变液体，使得所述折射率匹配液或者折射率可变液体将所述圆柱腔的剩余内部空间全部填满，形成复合材料相位板；

步骤3中，被固化的所述光刻胶相位板的形态呈螺旋状或双斜坡状；

将步骤5中得到的所述复合材料相位板，打开所述圆柱腔的下端口，排空所述圆柱腔内的折射率匹配液或者折射率可变液体，再次重复步骤5,灌入不同的折射率匹配液或者折射率可变液体，以得到工作波长不同的所述复合材料相位板，所述复合材料相位板可以在多个不同的波长组合下工作。

2.如权利要求1所述的复合材料相位板的飞秒激光双光子加工与制作方法，其特征在于，步骤4中，所述圆柱腔由飞秒激光三维微加工方法，由固化光刻胶制成。

3.如权利要求1所述的复合材料相位板的飞秒激光双光子加工与制作方法，其特征在于，步骤5中的所述折射率匹配液或者折射率可变液体，其折射率与所述光刻胶的折射率在双光束超分辨光存储光路系统的写入诱导记录光处相等或在受激发射损耗荧光显微系统的激发光处相等。

4.如权利要求1所述的复合材料相位板的飞秒激光双光子加工与制作方法，其特征在于，步骤5中的所述折射率匹配液或者折射率可变液体，其折射率与所述光刻胶的折射率在双光束超分辨光存储光路系统的读出激发光处相等。

5.如权利要求1所述的复合材料相位板的飞秒激光双光子加工与制作方法，其特征在于，步骤5中制成的所述复合材料相位板，其高度取决于所述折射率匹配液或者折射率可变液体的折射率与所述光刻胶的折射率在双光束超分辨光存储光路系统的写入抑制记录光处的折射率差值，以及所述写入抑制记录光的波长。

6.如权利要求1所述的复合材料相位板的飞秒激光双光子加工与制作方法，其特征在于，步骤5中制成的所述复合材料相位板，其高度取决于所述折射率匹配液或者折射率可变液体的折射率与所述光刻胶的折射率在双光束超分辨光存储光路系统的读出损耗光处的折射率差值，以及所述读出损耗光的波长。

7.如权利要求1所述的复合材料相位板的飞秒激光双光子加工与制作方法，其特征在于，步骤5中制成所述复合材料相位板，其高度取决于所述折射率匹配液或者折射率可变液体的折射率与所述光刻胶的折射率在受激发射损耗荧光显微系统的损耗光处的折射率差值，以及所述损耗光的波长。

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