CN1753220A 微型硅基自吸氧式燃料电池极板及其制作方法 （清华大学）.docxVIP

[19]中华人民共和国国家知识产权局

[12]发明专利申请公开说明书

[21]申请号200510086751.0

[51]Int.Cl.

HO1M4/86(2006.01)

HO1M4/88(2006.01)

H01M8/02(2006.01)

[43]公开日2006年3月29日[11]公开号CN1753220A

[22]申请日2005.11.1

[21]申请号200510086751.0

[71]申请人清华大学

地址100084北京市北京100084-82信箱[72]发明人王晓红姜英琪钟凌燕

权利要求书2页说明书5页附图3页

[54]发明名称

微型硅基自吸氧式燃料电池极板及其制作方法

[57]摘要

微型硅基自吸氧式燃料电池极板及其制作方法，属于微能源和微机械加工领域。为解决现有体硅腐蚀技术同膜电极接触面积过小，接触不充分等问题，本发明提出了一种微型硅基自吸氧式燃料电池极板，包括自吸氧式阴极极板和阳极极板，所述自吸氧式阴极极板与膜电极一侧的接触面积超出其与空气一侧的接触面积。为解决现有技术成本过高、无法批量生产自吸氧式燃料电池极板的问题，本发明还公开了微型硅基自吸氧式燃料电池极板的制作方法，包括生成体硅腐蚀掩蔽层的步骤，采用双面光刻技术光刻极板两面图形的步骤，在70~80℃及超声搅拌条件下，30～40wt%的KOH溶液中进行体硅腐蚀的步骤，以及溅射电流收集层的步骤。

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1.微型硅基自吸氧式燃料电池极板，包括自吸氧式阴极极板和阳极极板，所述燃料电池极板利用包括体硅腐蚀和双面光刻步骤的微机械加工工艺制作，其特征在于：所述自吸氧式阴极极板与膜电极一侧的接触面积超出其与空气一侧的接触面积。

2.根据权利要求1所述的微型硅基自吸氧式燃料电池极板，其特征在于：所述自吸氧式阴极极板靠近空气一侧的开口面积可在其与膜电极接触一侧结构的支撑能力范围内变动。

3.根据权利要求1所述的微型硅基自吸氧式燃料电池极板，其特征在于：所述阳极极板靠近空气一侧的腐蚀深度与同膜电极接触一侧的腐蚀深度相同。

4.根据权利要求1所述的微型硅基自吸氧式燃料电池极板，其特征在于：所述阳极极板靠近空气一侧的腐蚀深度大于同膜电极接触一侧的腐蚀深度。

5.根据权利要求1所述的微型硅基自吸氧式燃料电池极板，其特征在于：所述阳极极板靠近空气一侧的腐蚀深度小于同膜电极接触一侧的腐蚀深度。

6.一种微型硅基自吸氧式燃料电池极板的制作方法，其特征在于：

1)在硅片双面热氧二氧化硅和低压化学气相淀积氮化硅，作为体硅腐蚀掩蔽层；

2)采用双面光刻技术光刻极板两面的图形，采用正胶暗场，其中自吸氧式阴极极板中靠近空气一侧的光刻图形超出同膜电极接触一侧的光刻图形，使得靠近空气一侧的体硅腐蚀面积大于同膜电极接触一侧的体硅腐蚀面积；阳极极板在同膜电极接触一侧形成沟道和燃料进出口，在靠近空气一侧对应位置形成燃料进出口；

3)在70°~80℃下，30~40wt%的KOH溶液中进行体硅腐蚀；

4)在阴阳极板同膜电极接触一侧依次溅射金属Ti/Cu/Au,作为电流收集层。

7.根据权利要求6所述的微型硅基自吸氧式燃料电池极板的制作方法，其特征在于：阴阳极板在同一硅片上同时加工制作。

200510086751.0权利要求书第2/2页

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8.根据权利要求6所述的微型硅基自吸氧式燃料电池极板的制作方法，其特征在于：体硅腐蚀阳极极板时，靠近空气一侧和同膜电极接触一侧的腐蚀开始时间是不同的，实现阳极沟道深度的变化。

9.根据权利要求6所述的微型硅基自吸氧式燃料电池极板的制作方法，其特征在于：体硅腐蚀自吸氧式阴极极板时，靠近空气一侧和同膜电极接触一侧的腐蚀开始时间是不同的，实现透气性和极板强度的变化。

10.根据权利要求6所述的微型硅基自吸氧式燃料电池极板的制作方法，其特征在于：在进行体硅腐蚀时，进行超声搅拌。

200510086751.0说明书