CN1758405A 带有实体边的微通道板制作方法 （北方夜视技术股份有限公司）.docxVIP

[19]中华人民共和国国家知识产权局[51]Int.Cl.

HO1J9/00(2006.01)

[12]发明专利申请公开说明书

[21]申请号200510103369.6

[43]公开日2006年4月12日[11]公开号CN1758405A

[22]申请日2005.9.20

[21]申请号200510103369.6

[71]申请人北方夜视技术股份有限公司

地址100089北京市海淀区车道沟10号东11

楼

[72]发明人刘术林邓广绪曾国富严诚

[74]专利代理机构陕西电子工业专利中心代理人赵振红

权利要求书2页说明书9页附图2页

[54]发明名称

带有实体边的微通道板制作方法

[57]摘要

本发明公开了一种带有实体边的微通道板制作方法。主要包括：在微通道板有效区皮料和芯料确定的情况下，选择单一玻璃作为该微通道板实体边材料的原则；用所选实体边材料拉制出六角单丝及与有效区六角复丝分层有序排列；以及针对带有该实体边材料的微通道板整板制作的相关工艺条件。采用本方法选择实体边材料既保证了选材的广泛性又缩短了制作带有实体边微通道板的工艺流程；用本发明制作出的微通道板不仅降低了成本，而且提高了真空烘烤温度，便于彻底除气。因此，本发明特别适应于制作孔径小、厚度薄的高性能微通道板。

200510103369.6权利要求书第1/2页

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1.一种带有实体边的微通道板制作方法，该方法包括以下步骤：

(一)在依据微通道板技术指标确定出微通道有效区[4]所用的皮料玻璃和芯料玻璃的基础上，再根据所述的皮料玻璃和芯料玻璃的物理性能和整个制板的工艺条件，选择同时满足以下要求的单一玻璃作为实体边[3]的材料：

膨胀系数：在室温～300℃范围内，比MCP有效区[4]中复丝[2]的单丝排列

方向的径向膨胀系数α低(1～10)×10??/℃;

转变点：比有效区芯料玻璃转变点低20℃~60℃;

软化点：介于比有效区芯料玻璃转变点低15℃和该转变点之间；

抗潮湿性：优于2级(按国家标准GB/T6582-1997);

抗酸性：优于2a级(按国家标准GB7962.14-87);

所述有效区[4]中复丝[2]的单丝排列方向的径向膨胀系数α可以用下列公

式计算：

a=α皮+(α芯一α皮)×OAR

式中：α皮为皮料玻璃材料的膨胀系数，α为芯料玻璃材料的膨胀系数，OAR为MCP的开口面积比；所述的单一玻璃可以从现有商品牌号玻璃中选取，也可以按所述要求熔炼新品种玻璃；

(二)将所述皮料玻璃、芯料玻璃分别拉制成玻璃管和浇注成玻璃棒，然后分别进行整形、清洗、烘干，经管棒配合拉单丝、排复丝棒工序后再拉制成截面为正六边形且对边距达到设计值的复丝，随后将所述复丝切成若干个长度相等且与熔压磨具高度相当的六角复丝段[2];

(三)将所述作为实体边[3]材料的单一玻璃块或新品玻璃块切、磨成正六棱柱体，并对其进行清洗、烘干后放入拉丝机中，拉丝温度保持在比所述实体边玻璃软化点高140～170℃的温度范围内，将所述的正六棱柱体玻璃拉制并切成对边距和长度分别与所述六角复丝段[2]的对边距和长度相等的六角单丝段

[1];

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3

(四)将所述的六角单丝段[1]和六角复丝段[2]放入内六角排模中分层排列，所述每个六角丝段[1、2]的其中一对顶角的连线垂直于内六角排模的底平面，每层排列好的六角丝段[1、2]所形成的各齿隙正好对应容纳排在其上、下层各六角丝段[1、2]的顶角，最终形成周边区域为六角单丝段[1]、中心区域为六角复丝段[2]的微通道板六棱柱体坯锭；

(五)将所述坯锭倒模于熔压模中，经熔压成形、切片、滚圆、倒边、研磨、抛光、化学腐蚀去芯、氢还原、蒸镀电极工序后制作出微通道板。

2.根据权利要求1所述的带有实体边的微通道板制作方法，其特征在于：所述的熔压成形工序实施退火时，在有效区[4]所用的皮、芯料玻璃退火温度点的基础上再增设所述实体边[3]所