CN101858809B 一种光纤法布里珀罗压力传感器及其制作方法 （天津大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN101858809B

(45)授权公告日2012.03.21

(21)申请号201010185469.9

(22)申请日2010.05.28

(73)专利权人天津大学

地址300072天津市南开区卫津路92号

(72)发明人刘铁根江俊峰刘琨刘宇姜丽娟

(74)专利代理机构天津佳盟知识产权代理有限公司12002

代理人侯力

(51)Int.CI.

GO1L11/02(2006.01)

GO2B6/25(2006.01)

审查员付强

权利要求书2页说明书5页附图3页

(54)发明名称

一种光纤法布里-珀罗压力传感器及其制作方法

(57)摘要

新型的法布里-珀罗传感器及其制作方法。用于检测液体、气体的相对压力和绝对压力，也可用于探测声波，超声波信号等。本结构主要由光纤、弹性膜片、传感器体和微型弹簧组成。可以采用两种方式及一种变通方法来形成法珀腔和制作传感器。弹性膜片与传感光纤通过平面—球形的点接触方式紧密接触，当外界压力变化致使弹性膜片变形时，膜片会带动光纤在传感器体中轴向移动，从而改变了光纤法珀腔的长度，当接入宽带光源后，通过对通过光纤法布里-珀罗压力传感器中的光的光谱扫描或者低相干干涉条纹的提取，可提取出腔长变化，从而获取压力信息。本结

CN101858809构可以避免传统光纤法布里-珀罗传感器膜片变m

CN101858809

CN101858809B权利要求书1/2页

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1.一种光纤法布里-珀罗压力传感器，其特征在于该传感器包括：

传感器体：光纤法布里一珀罗压力传感器体是传感器的支撑结构和光纤滑动时的引导结构，其形状为圆柱形或是长方体形，传感器体的中间开有一个通孔，通孔的一端开有一个凹坑；

弹性膜片：用来感受压力的变化，放置于传感器体的凹坑中并固定；

传感光纤：传感光纤的一端为法布里一珀罗腔所需的反射面，另一端为球形，该传感光纤放置于传感器体中间的通孔内，球形一端与弹性膜片紧密接触；

传输光纤：该光纤放置于传感器体中间通孔内的另一端，用来提供法布里-珀罗腔所

需的另一反射面，与传感光纤的光纤端面不接触以构成法布里-珀罗腔：

微型弹簧：放置于传感光纤与传输光纤之间，用来提供弹性回复力使传感光纤与弹性膜片始终保持紧密接触。

2.根据权利要求1所述的光纤法布里-珀罗压力传感器，其特征在于传感器体为一整体或者由相互固定在一起的两部分构成；整体式的传感器体中用于放置直径小于通孔的微型弹簧，由两部分构成的传感器体的两部分衔接处的孔径大于通孔的孔径，适用于放置直径大于通孔的微型弹簧。

3.根据权利要求1或2所述的光纤法布里-珀罗压力传感器，其特征在于传感器体的制作材料为Pyrex玻璃或熔融石英材料；弹性膜片的材料为单晶硅片、石英薄片、聚合物薄片或金属膜片。

4.根据权利要求1或2所述的光纤法布里-珀罗压力传感器，其特征在于所述的传感光纤和传输光纤为单模光纤或多模光纤；用作反射面的光纤端面可以是切割后直接使用，也可以镀上反射膜。

5.根据权利要求1或2所述的光纤法布里-珀罗压力传感器，其特征在于所述的微型弹簧的材料为聚合物或金属，形状为螺旋形或是管状。

6.一种权利要求1所述的光纤法布里-珀罗压力传感器的制作方法，其特征在于该方法包括：

第1、弹性膜片制作：利用激光切割出所需大小的硅膜片，并用激光在硅膜片两面制作微小条纹，以破坏掉该面的反射，膜片厚度为10μm～300μm;

第2、传感光纤的制作：利用光纤切割刀切割光纤，然后用笔式切割刀在显微镜下切取光纤至所需长度，对传感光纤的非反射端加热熔化并利用表面张力形成球形；

第3、传输光纤的制作：截取1m～1.5m长度的光纤后，利用光纤切割刀切割光纤一端获得好的光纤端面作为传输光纤的反射面；

第4、微型弹簧的制作：

1)管状微型弹簧的制作：将一小滴聚合物注入内径为126μm的玻璃管内，通过高速离心旋转方法，在玻璃管内形成厚度为5～10μm的均匀薄膜，固化后并从玻璃管内取下即制作成弹性软管，其长度为20～400μm;

2)螺旋形微型弹簧的制作：用直径为25～35μm的金属弹簧丝，制成弹簧外径为126μm,长度为400μm的螺旋形金属微型弹簧；

第5、传感器体的制作：利用Pyrex玻璃或熔融石英材料制作传感器体