CN106784314A 以相片纸为基底的有机薄膜晶体管的制作方法 （南京邮电大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN106784314A

(43)申请公布日2017.05.31

(21)申请号201710037248.9

(22)申请日2017.01.18

(71)申请人南京邮电大学

地址210023江苏省南京市亚东新城区文

苑路9号

(72)发明人叶尚辉郭丽峰魏昂周舟黄维

(74)专利代理机构南京经纬专利商标代理有限公司32200

代理人楼高潮

(51)Int.CI.

HO1L51/10(2006.01)

HO1L51/40(2006.01)

HO1L51/05(2006.01)

权利要求书1页说明书3页附图2页

(54)发明名称

以相片纸为基底的有机薄膜晶体管的制作方法

(57)摘要

CN106784314A以相片纸为基底的有机薄膜晶体管的制作方法，属于有机场效应晶体管的制备方法领域。所述方法包括将相片纸分别用去离子水和氮气清理表面；将清理后的相片纸置于培养皿中放入真空干燥箱加热；在相片纸上打印银电极，将相片纸置于培养皿中放入真空干燥箱加热；在相片纸上打印OTFT活性层材料BFTII和氯仿的混合溶液，热退火；在相片纸上打印介电层，将相片纸置于培养皿中放在真空干燥箱中加热；涂紫外固化胶进行紫外固化，盖上玻璃片后封装完毕。制造成本低，工艺简单，通过添加BFTII和热退火方法，即可使得最终制备的OTFT在保持较低阈值电压的条件下，载流子迁移率提升两个以上数量

CN106784314A

CN106784314A权利要求书1/1页

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1.以相片纸为基底的有机薄膜晶体管的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤一：将相片纸分别用去离子水和氮气清理表面；

步骤二：将经过步骤一处理的相片纸置于培养皿中放入真空干燥箱加热；

步骤三：在经过步骤二处理的相片纸上打印银电极，将相片纸置于培养皿中放入真空干燥箱加热；

步骤四：在经过步骤三处理的相片纸上打印BFTII和氯仿的混合溶液，热退火，BFTII的

分子结构如下：

步骤五：在经过步骤四处理的相片纸上打印介电层，将相片纸置于培养皿中放在真空干燥箱中加热；

步骤六：涂紫外固化胶进行紫外固化，盖上玻璃片后封装完毕。

2.根据权利要求1所述的以相片纸为基底的有机薄膜晶体管的制作方法，其特征在于，所述相片纸切割尺寸为1.6cm×1.4cm。

3.根据权利要求1所述的以相片纸为基底的有机薄膜晶体管的制作方法，其特征在于，步骤三中所述银电极为边栅结构，所述边栅结构包括栅极、漏极、源极和沟道，所述沟道长度为80μm,宽度为8000μm。

4.根据权利要求1所述的以相片纸为基底的有机薄膜晶体管的制作方法，其特征在于，步骤四中所述BFTII用氯仿做溶剂配成混合溶液的浓度为4mg/mL。

5.根据权利要求1所述的以相片纸为基底的有机薄膜晶体管的制作方法，其特征在于，步骤四中所述热退火温度为100℃,真空退火10分钟。

CN106784314A说明书1/3页

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以相片纸为基底的有机薄膜晶体管的制作方法

技术领域

[0001]本发明涉及到有机场效应晶体管的制备方法领域，尤其涉及到以相片纸为基底的有机薄膜晶体管的制作方法。

背景技术

[0002]半导体电子器件问世以后，基于有机半导体的电子器件由于其特有的性能也得到快速的发展，比如有机光电存储器、有机场效应晶体管、有机发光二极管、有机太阳能电池等纳米器件。其中，有机场效应薄膜晶体管，简称organicthin-filmtransistor(OTFT),由于其特有的性能而引起人们的关注，并得到深入地研究。

[0003]基底是印刷电子产品的重要部分，它可以是刚性或柔性的，但其应具有不可渗透，低热膨胀系数，化学惰性，机械坚固，应能承受加工温度等特性。基于硅基的半导体微电子技术已经在电子技术领域主导了半个世纪，硅材料广泛应用于基底，是由于其优异的半导体性能，容易形成氧化层。例如，Bharti等人制作以硅片为基底的OTFT,实现相分离诱导的高载流子迁移率和电稳定性(Bharti,Deepak,T